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会议论文 热壁外延生长GaAs/导电玻璃薄膜
出处:中国第七届光伏会议
摘要:本文报道以导电玻璃为衬底,采用热壁外延方法,制备GaAs多晶薄膜材料.采用电子探针(EPMA)测定薄膜的组分、表... 显示全部
关键词: 导电玻璃 太阳电池 薄膜材料 薄膜 热壁外延生长 薄膜制备
会议论文 TiO<,2>薄膜制备过程中基片温度对薄膜结构和光学性能的影响
出处:全国新材料及其应用学术会议
摘要:近年来TiO<,2>功能薄膜以其奇异的性能优异的光催化性能引起研究人员的广泛关注.本文结合TiO<,2>的结构和性... 显示全部
关键词: 薄膜 薄膜制备 基片温度 薄膜结构 光学性能
会议论文 高k介质薄膜研究的新进展
出处:TFC'07全国薄膜技术学术研讨会
摘要:本文介绍了国际上ALD工艺所取得的新进展,分析了ALD沉积的高k介质薄膜的均匀性和覆盖率,介绍了这些高k介... 显示全部
关键词: 介质材料 薄膜制备 气相反应 化学吸附
会议论文 钼酸锶多晶薄膜的低温制备研究
出处:第十二届全国电介质物理、材料与应用学术研讨会
摘要:本研究采用化学溶液沉积技术,在室温和近室温条件下制备出钼酸锶薄膜。借助X-射线衍射对钼酸锶薄膜的结构... 显示全部
关键词: 多晶薄膜 薄膜制备 钼酸锶薄膜 化学沉积
会议论文 氢化微晶硅薄膜制备过程中氧污染问题的初步研究
出处:中国第七届光伏会议
摘要:本文对不同的本底真空条件下,采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术沉积的氢化微晶硅薄膜(μ... 显示全部
关键词: 氢化微晶硅薄膜 化学气相沉积 光发射谱 氧污染 薄膜制备
会议论文 弱硼掺杂补偿对氢化微晶硅薄膜制备与特性的影响
出处:第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛
摘要:本文对甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备氢化微晶硅薄膜(μc-Si:H)的弱硼掺杂补偿特... 显示全部
关键词: 氢化微晶硅薄膜 等离子体增强 化学气相沉积 掺杂补偿 薄膜制备
会议论文 多晶硅薄膜的制备与表征
出处:中国第七届光伏会议
摘要:以多晶硅片为衬底,在快热化学气相沉积(RTCVD)设备上,通过外延生长的方式制得多晶硅薄膜,并利用扫描电镜(SE... 显示全部
关键词: 多晶硅薄膜 化学气相沉积 颗粒硅带 外延生长 薄膜制备 形貌结构
会议论文 低压MOCVD ZnO的生长与性质
出处:第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:利用LP-MOCVD技术在(0002)蓝宝石衬底上制备出c轴取向高度一致的单晶ZnO薄膜,AFM测量显示其表面形貌为柱状... 显示全部
关键词: 光电性质 氧化锌薄膜 化学气相淀积 薄膜制备
会议论文 掺杂浓度对p型μc-Si∶H材料特性的影响
出处:第十届中国太阳能光伏会议
摘要:采用射频等离子体增强化学气相沉积技术,制备了不同硼掺杂浓度的p型μc-Si∶H材料。实验结果表明:随着硼掺... 显示全部
关键词: 等离子体增强 化学气相沉积 掺杂浓度 薄膜制备
会议论文 类金刚石膜的制备及应用
出处:中国超硬材料发展论坛暨第2届中国金刚石相关材料及应用学术研讨会
摘要:类金刚石(DLC)膜由于其良好的特性被广泛应用于各个领域,文章介绍了类金刚石膜的制备方法及特点,并说明了... 显示全部
关键词: 类金刚石膜 薄膜制备 耐磨损高硬度 类金刚石纤维 金刚石磨料
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