中文会议： 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议论文集

会议日期： 2002-10-01

会议地点： 厦门

主办单位： 中国电子学会

作　　者： ; ; ; ; ; ; ; ; ; ;

机构地区： 南京大学物理学院物理学系

出　　处： 《第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议》

摘　　要： 利用LP-MOCVD技术在(0002)蓝宝石衬底上制备出c轴取向高度一致的单晶ZnO薄膜,AFM测量显示其表面形貌为柱状生长的光滑表面,室温及低温光荧光谱测量显示近带边发射和激子发射,没有观察与深能级有关的蓝带等发射.采用Al电极制备出ZnO的MSM结构的光导型探测器原型器件,在紫外波段观察到与带边吸收有关的光电响应.

关 键 词： 光电性质 氧化锌薄膜 化学气相淀积 薄膜制备

领　　域： [一般工业技术]