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会议论文 退火对CO掺杂ZNO薄膜电磁性能的影响
出处:第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:采用磁控溅射技术,制备了CO掺杂ZNO薄膜,然后将样品分别在O2和N2气氛下,以不同的温度进行退火处理;用X射线... 显示全部
关键词: 磁控溅射 氧化锌薄膜 电磁性能 退火处理 方块电阻
会议论文 磁控溅射法制备类金刚石薄膜的摩擦学特性
出处:第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
摘要:采用磁控溅射技术在单晶硅表面制备了Ti、C和Ti、Cr、C两种类金刚石薄膜,用原子力显微镜(AFM)和俄歇能谱仪(... 显示全部
关键词: 磁控溅射 类金刚石薄膜 摩擦学性能
会议论文 微波ECR等离子体增强磁控溅射多晶硅薄膜研究
出处:第十五届全国等离子体科学技术会议
摘要:<正>多晶硅薄膜是制备多晶硅薄膜光伏电池的关键器件,其在长波段具有高光敏性,对可见光能有效吸收,且具有与... 显示全部
关键词: 微波 磁控溅射 多晶硅薄膜
会议论文 钛合金表面SI-N-O薄膜的制备及其性能研究
出处:第六届中国功能材料及其应用学术会议
摘要:采用非平衡磁控溅射(UBMS450)法在钛合金表面制备了SI-N-O薄膜。研究结果表明:氮气流量对薄膜的化学结构、... 显示全部
关键词: 钛合金 薄膜 磁控溅射 力学性能 植入材料 制备工艺
会议论文 缓冲层对VO2薄膜光电特性的影响
出处:中国真空学会2014学术年会
摘要:采用直流反应磁控溅射工艺制备了VO2薄膜。对比了在K9玻璃基底上,TiO2及V缓冲层对氧化钒薄膜的影响。XRD及... 显示全部
关键词: 薄膜 缓冲层半导体 金属相变 磁控溅射
会议论文 温度对直流反应磁控溅射制备TiO2薄膜的光学性质的影响
出处:2005’全国真空冶金与表面工程学术会议
摘要:本文应用DC(直流)反应磁控溅射设备在硅基底上制备TiO2薄膜,在固定的电源功率下,过控制温度改变TiO2薄膜的... 显示全部
关键词: 二氧化钛薄膜 直流反应 磁控溅射 温度 反射率 光学性质
会议论文 磁控溅射制备TBFECO薄膜及其光学和磁光性质研究
出处:第五届中国功能材料及其应用学术会议
摘要:采用放电等离子烧结(SPS)TBFECO合金靶,分别在SI衬底和K9玻璃衬底上磁控溅射制备了磁光薄膜TBFECO/SI和TBFE... 显示全部
关键词: 放电等离子烧结 磁光薄膜 椭偏光谱 磁光 效应 薄膜 磁控溅射
会议论文 脉冲工艺在薄膜制备中的应用
出处:中国真空学会薄膜技术学术研讨会
摘要:本文综述了国内外脉冲工艺在电弧离子镀和磁控溅射中的应用.脉冲工艺为电弧离子镀净化大颗粒、增强膜基结合... 显示全部
关键词: 电弧离子镀 脉冲工艺 低温沉积 磁控溅射
会议论文 退火温度对Fe-Cu颗粒膜巨磁阻以及磁性能的影响
出处:第五届全国电工合金技术交流会
摘要:利用直流磁控溅射法制备Fe28Cu72(体积分数)颗粒膜,在不同温度下进行高真空退火,用X射线衍射仪(XRD)对样品... 显示全部
关键词: 颗粒膜 巨磁阻 磁控溅射 软磁
会议论文 P-NIO/N-GAN发光二极管光电特性的研究
出处:第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议
摘要:本文采用磁控溅射法在N-GAN衬底上成功制备了NIO薄膜,从而制备了P-NIO/N-GAN异质结发光二极管.测试并分析... 显示全部
关键词: 磁控溅射 紫外光发光二极管
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