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会议论文 退火对CO掺杂ZNO薄膜电磁性能的影响
出处:第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:采用磁控溅射技术,制备了CO掺杂ZNO薄膜,然后将样品分别在O2和N2气氛下,以不同的温度进行退火处理;用X射线... 显示全部
关键词: 磁控溅射 氧化锌薄膜 电磁性能 退火处理 方块电阻
会议论文 Zno薄膜的结构和发光性能研究
出处:第十二届全国电介质物理、材料与应用学术研讨会
摘要:本研究以Zn(CH3CO2)2·2H2O为原材料,用Sol-Gel法在Si衬底上制备了ZnO薄膜,研究了退火条件对Zno薄膜的结... 显示全部
关键词: 薄膜材料 氧化锌薄膜 薄膜结构 光致发光
会议论文 氧化锌薄膜晶体管的制备及其性能研究
出处:广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会
摘要:以硅单晶片作为衬底且充当栅电极,在衬底上热生长二氧化硅薄膜作为栅介质层,磁控溅射制备的氧化锌薄膜作为... 显示全部
关键词: 薄膜晶体管 氧化锌薄膜 稳定性
会议论文 氧气压力对脉冲激光沉积ZNO薄膜的形貌及光学性质影响
出处:第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:使用脉冲激光沉积(PLD)方法在石英(SIO2)和单晶硅(111)基底上制备了具有C轴择优取向的ZNO薄膜。采用X射线衍... 显示全部
关键词: 氧气压力 脉冲激光沉积 光学性质 氧化锌薄膜 光学透过率
会议论文 P型ZnO薄膜的磷扩散制备与表征
出处:2006第五届中国(国际)纳米科技西安研讨会
摘要:应用射频磁控溅射的方法,将ZnO薄膜沉积于高磷掺杂的Si衬底上.在沉积和后退火过程中,磷向ZnO薄膜扩散,使ZnO... 显示全部
关键词: 硅衬底 氧化锌薄膜 射频磁控溅射 晶体结构 磷扩散法
会议论文 低压MOCVD ZnO的生长与性质
出处:第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:利用LP-MOCVD技术在(0002)蓝宝石衬底上制备出c轴取向高度一致的单晶ZnO薄膜,AFM测量显示其表面形貌为柱状... 显示全部
关键词: 光电性质 氧化锌薄膜 化学气相淀积 薄膜制备
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