中文会议: 第十二届全国电介质物理、材料与应用学术研讨会论文集
会议日期: 2008-04-01
会议地点: 西安
主办单位: 中国物理学会
机构地区: 中山大学
摘 要: 本研究以Zn(CH3CO2)2·2H2O为原材料,用Sol-Gel法在Si衬底上制备了ZnO薄膜,研究了退火条件对Zno薄膜的结晶、微结构及发光性能的影响。研究表明,ZnO薄膜呈多晶特征,随退火温度升高,晶粒尺寸增大,c轴长度逐渐减小,而薄膜平面应力从压应力转变为张应力,应力松弛温度约620℃。室温光致发射谱测量显示,由于结晶性能改善及内应力的作用,znO薄膜的近带边紫外发射(~390 nm)增强且发生红移;当退火温度高于700℃时,绿光峰增强,这与薄膜高温处理下产生大量氧空位缺陷有关。
分 类 号: [TB]
领 域: [一般工业技术]