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会议论文 热电薄膜与薄膜温差电池研究进展
出处:TFC‘2011全国薄膜学术研讨会
摘要:热电材料是一种能够实现热能和电能直接相互转换的绿色环保型功能材料。近年来研究发现,薄膜热电材料及其... 显示全部
关键词: 薄膜温差电池 热电薄膜 性能表征 功率因子
会议论文 离子束溅射制备Sb2Te3热电薄膜
出处:TFC’09全国薄膜技术学术研讨会
摘要:<正>本文采用离子束溅射技术交替沉积Sb-Te-Sb多层薄膜后进行高真空热处理,直接制备Sb2Te3薄膜。利用X射线... 显示全部
会议论文 背景气压对脉冲激光烧蚀碳等离子体发射光谱特性影响
出处:第十五届全国光学测试学术交流会
摘要:<正>采用10Hz运行的Nd3+:YAG固体激光器的基频(1064 nm)和二倍频(532 nm)激光烧蚀碳靶,利用CCD光学多道分析... 显示全部
会议论文 脉冲激光沉积环境对MgZnO成膜特性影响
出处:第十四届全国光学测试学术讨论会
摘要:<正>利用KrF准分子激光器,采用MgZnO陶瓷靶(纯度99.99%,ZnO和MgO按原子百分比80:20混合),以Si(111)或石英为... 显示全部
会议论文 59ZnO薄膜生长及择优取向控制
出处:TFC’15全国薄膜技术学术研讨会
摘要:具有(002)择优取向的ZnO薄膜其c轴垂直于衬底表面,过去人们主要集中在这种.ZnO薄膜的性能研究,包括电学性能... 显示全部
会议论文 脉冲激光沉积类金刚石薄膜过程中碳等离子体发射光谱特性
出处:第十二届全国光学测试学术讨论会
摘要:<正>利用脉冲激光沉积薄膜装置在不同衬底温度、不同脉冲激光能量、不同激光频率、不同激光波长状态下沉积... 显示全部
会议论文 基底温度对离子束溅射法制备AZO透明导电薄膜的影响
出处:TFC’09全国薄膜技术学术研讨会
摘要:<正>以ZnO(掺杂2%Al2O3)陶瓷靶作为靶材,采用离子束溅射技术在玻璃基底上成功制备了AZO薄膜透明导电薄膜... 显示全部
会议论文 直流磁控共溅射制备Zn-Sb热电薄膜的研究
出处:中国真空学会2012学术年会
摘要:<正>热电材料是一种能够实现热能和电能直接相互转换的绿色环保型功能材料。近年来研究发现,热电材料薄膜化... 显示全部
会议论文 Sn掺杂ZnO膜的共溅射制备及性能研究
出处:中国真空学会2012学术年会
摘要:ZnO为直接带隙的半导体,室温下禁带宽度约为3.4eV,在可见光区透明,在光电子器件中有重要应用。掺杂可以调节... 显示全部
会议论文 缓冲层对VO2薄膜光电特性的影响
出处:中国真空学会2014学术年会
摘要:采用直流反应磁控溅射工艺制备了VO2薄膜。对比了在K9玻璃基底上,TiO2及V缓冲层对氧化钒薄膜的影响。XRD及... 显示全部
关键词: 薄膜 缓冲层半导体 金属相变 磁控溅射
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