中文会议： TFC’15全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集

会议日期： 2015-08-21

会议地点： 中国湖北武汉

出版方 ： 中国真空学会薄膜专业委员会、中国硅酸盐学会薄膜与涂层分会

作　　者： ; ; ; ; ;

机构地区： 深圳大学物理科学与技术学院

出　　处： 《TFC’15全国薄膜技术学术研讨会》

摘　　要： 具有(002)择优取向的ZnO薄膜其c轴垂直于衬底表面,过去人们主要集中在这种.ZnO薄膜的性能研究,包括电学性能,光学性能和表面波性能。近年来,研究发现通过在特定的衬底上,也可以获得其它取向生长的ZnO外延膜,其中某些取向的ZnO薄膜具有c轴取向的ZnO薄膜所不具备的特性,如(110)取向生长的ZnO薄膜,其机电耦合系数高达6%,且在(110)平面上可激发出高次瑞利波,因而在研制高频、低损耗Zn

分 类 号： [TB383.2]

领　　域： [一般工业技术]