中文会议： TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集

会议日期： 2009-08-15

会议地点： 中国四川成都

出版方 ： 中国真空学会薄膜专业委员会

作　　者： ; ; ; ; ;

机构地区： 深圳大学物理科学与技术学院

出　　处： 《TFC’09全国薄膜技术学术研讨会》

摘　　要： <正>以ZnO（掺杂2%Al2O3）陶瓷靶作为靶材,采用离子束溅射技术在玻璃基底上成功制备了AZO薄膜透明导电薄膜。研究不同基底温度对AZO薄膜结构与光电性能的影响。结果表明,沉积过程中基底温度对AZO薄膜的结构和光电性能有显著影响。X射线衍射（XRD）图谱显

分 类 号： [O484.1]

领　　域： [理学] [理学]