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期刊文章 蓝宝石衬底上制备氮化硅薄膜的研究
出处:兵器材料科学与工程 2005年第5期 11-15,共5页
摘要:采用射频磁控反应溅射法在蓝宝石和硅衬底上制备出Si3N4薄膜.利用XPS和FTIR分析了所制备薄膜的成分和结构,... 显示全部
关键词: 磁控反应溅射 蓝宝石 氮化硅薄膜 沉积速率
期刊文章 Er2O3薄膜的光学常数和介电性能
出处:光学学报 2009年第6期1724-1728,共5页
摘要:采用射频磁控反应溅射技术,在不同的Ar/O2流量比条件下制备了系列Er2O3薄膜样品。采用椭偏光谱和紫外-可... 显示全部
关键词: 薄膜光学 氧化铒薄膜 磁控反应溅射 光学常数 介电性能
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期刊文章 Er2O3高介电常数薄膜的结构和介电性能的研究
出处:广东化工 2009年第9期 164-166,共3页
摘要:采用射频磁控反应溅射技术,在不同的Ar:O2条件下制备Er2O3薄膜,然后把样品分别在600、700和800℃退火60m... 显示全部
关键词: 电子材料 介电性能 磁控反应溅射 薄膜 薄膜
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期刊文章 工艺参数对磁控反应溅射AlN薄膜沉积速率的影响
出处:西北工业大学学报 2004年第2期 260-263,共4页
摘要:采用射频磁控反应溅射法,以高纯Al为靶材,高纯N2为反应气体,成功制备了氮化铝(AlN)薄膜.研究了N2气流量、射... 显示全部
关键词: 磁控反应溅射 薄膜 沉积速率
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期刊文章 仿金氮化钛薄膜的磁控反应溅射法研究
出处:中山大学学报:自然科学版 1992年第2期 122-125,共4页
摘要:本文利用磁控反应溅射法研究制备氮化钛薄膜,结果表明,氮气分气压PN2直接影响膜中的氮、钛原子比,适当的衬... 显示全部
关键词: 氮化钛 薄膜 磁控反应溅射
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