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期刊文章 基片光学特性对薄膜光强透过谱的影响
出处:物理实验 2004年第5期 37-39,41,共4页
摘要:在考虑基片与空气界面反射率以及基片吸收不能忽略的情况下,对常见的基片上薄膜的光强透过率公式进行了修正... 显示全部
关键词: 薄膜 光强透过谱 基底 反射率 非晶硅薄膜
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期刊文章 用SiCl4/H2气源沉积多晶硅薄膜光照稳定性的研究
出处:物理学报 2005年第8期 3805-3809,共5页
摘要:对以SiH4/H2及SiCl4/H2为源气体、采用等离子体增强化学气相沉积技术制备的非晶硅薄膜和多晶硅薄膜进行了光... 显示全部
关键词: 多晶硅薄膜 光照稳定性 化学气相沉积技术 气源 等离子体增强 非晶硅薄膜 源气体 光电导 晶化度 稀释度 电导率 制备 衰减
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期刊文章 热处理升温快慢对非晶硅中形成的纳米硅粒尺寸的影响
出处:量子电子学报 2002年第5期 461-466,共6页
摘要:含氢非晶硅薄膜经过快速热退火处理后,我们用拉曼散射和X-射线衍射技术对样品进行分析.我们的实验结果表明:... 显示全部
关键词: 纳米硅 拉曼散射 快速热退火 射线衍射 非晶硅薄膜
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期刊文章 电场方向对铝诱导非晶硅薄膜固相晶化影响浅析
出处:韩山师范学院学报 2007年第3期 50-54,共5页
摘要:通过扫描电子显微镜、X射线衍射仪和喇曼谱仪检测铝诱导非晶硅薄膜的场致固相晶化的情况,分析了电场方向对... 显示全部
关键词: 铝诱导 非晶硅薄膜 电场 固相晶化
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期刊文章 准分子激光引起的非晶硅薄膜晶化行为的研究
出处:真空 2009年第4期5-8,共4页
摘要:利用KrF准分子激光对非晶硅薄膜的表层进行了晶化。研究了激光能量密度和照射脉冲数对薄膜结晶度的影响,并... 显示全部
关键词: 准分子激光 非晶硅薄膜 激光能量密度 结晶度
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期刊文章 SiH4辉光放电等离子体中中性基团的轴向分布
出处:安庆师范学院学报:自然科学版 2013年第2期76-79,共4页
摘要:利用RGA100质谱仪成功地实现了对SiH4辉光放电等离子体的在线检测。根据线性拟合的方法获得了SiH4消耗率及... 显示全部
关键词: 非晶硅薄膜 质谱 辉光放电 消耗率
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