作　　者： ; ; ; ;

机构地区： 汕头大学理学院物理系

出　　处： 《物理实验》 2004年第5期37-39,41,共4页

摘　　要： 在考虑基片与空气界面反射率以及基片吸收不能忽略的情况下 ,对常见的基片上薄膜的光强透过率公式进行了修正 ,导出了该情况下的透过率公式 .以非晶硅薄膜为研究对象 ,采用模拟计算说明基片光学特性对薄膜光强透过谱的影响 . Taking account of the reflectivity on air/substrate interface and the absorption in substrate, the common used formula to calculate optical transmission is calibrated. Taking a Si:H film as an example, the effect of above factors on spectra is investigated from simulated results.

关 键 词： 薄膜 光强透过谱 基底 反射率 非晶硅薄膜

领　　域： [理学] [理学]