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期刊文章 高亮度GaN基蓝色LED的研究进展
出处:量子电子学报 2003年第1期 10-17,共8页
摘要:超高亮度GaN基蓝色LED的发展将会引起照明技术的一场革命,它是目前全球半导体领域研究和投资的热点.本文综... 显示全部
关键词: 高亮度 蓝色 欧姆接触 刻蚀 发光二极管 氮化镓 发展现状 外延生长
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期刊文章 808nm激光诱导电化学刻蚀研究
出处:桂林工学院学报 2009年第1期 132-135,共4页
摘要:为探讨半导体激光电化学刻蚀的工艺特性,采用808nm半导体激光作为光源,聚焦激光照射浸于溶液中的阳极上,... 显示全部
关键词: 激光 电化学 刻蚀 不锈钢
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期刊文章 Al—Si合金RIE参数选择
出处:半导体技术 2004年第11期 19-21,共3页
摘要:采用正交试验法对二手RIE刻Al设备A-360进行工艺参数选择试验,并以均匀性、刻蚀速率、对PR选择比为评价指标... 显示全部
关键词: 反应离子刻蚀 正交试验 刻蚀 刻蚀速率
期刊文章 水辅助准分子激光微加工硅的实验研究
出处:激光技术 2006年第6期 567-569,共3页
摘要:为了研究脉冲激光在不同介质中的刻蚀特性,采用20ns短脉冲、248nm准分子激光(能量为150mJ-250mJ)分别在... 显示全部
关键词: 激光技术 水辅助微加工 准分子激光 刻蚀
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期刊文章 准分子激光电化学刻蚀镍的特性研究
出处:光学技术 2005年第3期323-325,329共4页
摘要:提出一种新的准分子激光电化学加工工艺,在阳极钝化区内,通过准分子激光照射,以实现无屏蔽的各向异性的微加... 显示全部
关键词: 准分子激光 电化学 阳极钝化 刻蚀
期刊文章 不同结晶温度尼龙1010样品的刻蚀条件研究
出处:郑州大学学报:自然科学版 1994年第1期 73-76,共4页
摘要:本文对比了甲酸蒸气和离子束轰击对尼龙1010样品的刻蚀效果,扫描电镜观察表明,结晶温度较低样品用离... 显示全部
关键词: 尼龙 甲酸蒸汽刻蚀 刻蚀 扫描电镜 结晶温度
期刊文章 电解液对准分子电化学刻蚀硅的影响研究
出处:应用激光 2009年第1期 43-45,49,共4页
摘要:提要激光电化学刻蚀是将激光加工技术和电化学加工技术有机结合起来而形成的一种复合型刻蚀工艺。为了研究... 显示全部
关键词: 准分子激光 电化学 刻蚀 溶液
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期刊文章 芳纶表面化学改性技术研究现状
出处:合成纤维工业 2010年第2期 48-51,共4页
摘要:概述了芳纶表面化学改性的方法。从芳纶分子结构的特点出发,论述了芳纶表面化学刻蚀及化学接枝等化学改性... 显示全部
关键词: 芳纶 表面改性 化学改性 刻蚀 接枝
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期刊文章 准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究
出处:激光技术 2006年第3期 235-237,共3页
摘要:为了解决现有硅刻蚀工艺中存在的刻蚀质量等问题,采用激光加工技术和电化学加工技术相结合的工艺对硅进行... 显示全部
关键词: 激光技术 光电化学 准分子激光 刻蚀
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期刊文章 Bi3.15Nd0.85Ti3O12薄膜的ICP刻蚀及性能研究
出处:微电子学 2011年第4期574-576,581共4页
摘要:采用溶胶-凝胶法,在Pt/Ti/SiO2/p-Si衬底上制备BNT(Bi3.15Nd0.85Ti3O12)薄膜,再采用ICP刻蚀工艺,对BNT薄... 显示全部
关键词: 溶胶 凝胶 刻蚀 铁电性能
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