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会议论文 光助电化学刻蚀法制作大面积高深宽比硅微通道板的研究
出处:中国光学学会2011年学术大会
摘要:湿法刻蚀的影响因素是多方面的,本文选取电压、电流、掺杂浓度、反应液浓度、光照、刻蚀时间等因素对光助电... 显示全部
关键词: 光助电化学刻蚀 微孔阵列 微通道板
会议论文 前处理蓝宝石衬底上生长高质量GaN薄膜
出处:第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:采用化学方法腐蚀部分c-面蓝宝石衬底,在腐蚀区域形成一定的图案,利用LP-MOCVD在此经过表面处理的蓝宝石衬... 显示全部
关键词: 前处理 蓝宝石衬底 薄膜 外延生长 光学质量
会议论文 坩埚形状对氮化铝晶体生长的影响
出处:第14届全国晶体生长与材料学术会议
会议论文 多通道门选通纳秒分幅相机
出处:2007中德双边高级专家X射线光学研讨会
摘要:采用光学分幅技术和多通道门选通法研制了纳秒分幅相机.首次应用八棱锥将图像分为8幅,每幅图像有相等的光学... 显示全部
关键词: 纳秒分幅相机 光学分幅技术 双近贴门选通像增强器 八棱锥分光
会议论文 ALN晶体生长系统的温度场分析
出处:第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议
摘要:  采用有限元法模拟了物理气相传输法(PVT)制备大尺寸AIN晶体的温度场,应用ANSYS软件对比研究了在不同实... 显示全部
关键词: 氮化铝晶体 半导体材料 温度场分析 数值模拟
会议论文 微光学在新一代光镊中的应用
出处:全国第十二次光纤通信暨第十三届集成光学学术会议
摘要:本文介绍应用三维微光学元件为新一代光镊系统提供具有光学旋涡的光束,从而实现光学角动量与被捕获微颗粒的... 显示全部
关键词: 微光学 光束整形 光镊 光学旋涡
会议论文 氮化铝单晶的偏振Raman光谱研究
出处:第十七届全国光散射学术会议
摘要:<正>氮化铝(AlN)可以实现波长短至210 nm的电致发光,能广泛地应用于数据存储、生物检测以及紫外杀菌等。... 显示全部
会议论文 改进缓冲层结构MOCVD无掩模横向外延制备CaN薄膜的研究
出处:第十届固体薄膜会议
摘要:本文针对改进缓冲层生长条件,在蓝宝石衬底上利用金属有机物气相外延(MOCVD)方法对无掩模横向外 延(ELO... 显示全部
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