聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
会议论文 Si(111)衬底上3C-SiC的CVD异质外延生长
出处:第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:以乙烯和硅烷为生长气源、在900~1000℃下、用化学气相淀积方法在硅(111)衬底上外延生长了碳化硅薄膜.X射线... 显示全部
关键词: 外延生长 化学气相淀积 射线衍射谱 俄歇电子能谱 拉曼散射 碳化硅薄膜
会议论文 低压MOCVD ZnO的生长与性质
出处:第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:利用LP-MOCVD技术在(0002)蓝宝石衬底上制备出c轴取向高度一致的单晶ZnO薄膜,AFM测量显示其表面形貌为柱状... 显示全部
关键词: 光电性质 氧化锌薄膜 化学气相淀积 薄膜制备
会议论文 喷射型电感耦合等离子体化学气相沉积法制备的微晶硅薄膜孵化层的演化
出处:第十七届全国半导体物理学术会议
摘要:@@氢化微晶硅薄膜由于在薄膜太阳电池中的应用潜力而受到人们的普遍关注。但是传统的化学气相沉积等方法制... 显示全部
会议论文 SINX薄膜的制备、结构及其光学性能表征
出处:中国真空学会第六届全国会员代表大会
摘要:本文使用电子回旋共振等离子体化学气相沉积方法制备了非化学计量比的SINX薄膜,使用红外光谱、拉曼光谱和紫... 显示全部
关键词: 电子回旋共振等离子体 化学气相沉积 薄膜 红外光谱 光学性能 拉曼光谱
找到4条结果
`