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会议论文 温度对直流反应磁控溅射制备TiO2薄膜的光学性质的影响
出处:2005’全国真空冶金与表面工程学术会议
摘要:本文应用DC(直流)反应磁控溅射设备在硅基底上制备TiO2薄膜,在固定的电源功率下,过控制温度改变TiO2薄膜的... 显示全部
关键词: 二氧化钛薄膜 直流反应 磁控溅射 温度 反射率 光学性质
会议论文 氧化铝薄膜在发光方面的研究进展
出处:2005’全国真空冶金与表面工程学术会议
摘要:本文对近十几年来Al2O3薄膜在发光方面的研究进展分三个方面进行了介绍,它们是多孔阳极氧化铝薄膜基质PL发... 显示全部
关键词: 薄膜 发光 电致发光 氧化铝
会议论文 脉冲偏压电弧离子镀的发展现状及前瞻
出处:2005’全国真空冶金与表面工程学术会议
摘要:本文致力于集中探讨脉冲偏压电弧离子镀技术各种表观行为下的深层本质和作用机制,并在此基础上论述其发展... 显示全部
关键词: 电弧离子镀 脉冲偏压 气相沉积镀膜
会议论文 二氧化钛功能薄膜理论分析与研究进展
出处:2005’全国真空冶金与表面工程学术会议
摘要:本文介绍了二氧化钛薄膜在催化和亲水方面的特性,对已有结论作了客观分析,提出了二氧化钛薄膜催化作用的另... 显示全部
关键词: 纳米二氧化钛 薄膜 光催化 亲水性 气敏特性 湿敏特性
会议论文 氮化铝薄膜发光性能的研究进展
出处:2005’全国真空冶金与表面工程学术会议
摘要:本文介绍了AlN薄膜物理性质及制备方法;综述了AlN薄膜作为薄膜电致发光(TFEL)器件发光层的研究现状;对AlN... 显示全部
关键词: 薄膜 氮化铝 电致发光 发光性能
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