聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
会议论文 热壁外延生长GaAs/导电玻璃薄膜
出处:中国第七届光伏会议
摘要:本文报道以导电玻璃为衬底,采用热壁外延方法,制备GaAs多晶薄膜材料.采用电子探针(EPMA)测定薄膜的组分、表... 显示全部
关键词: 导电玻璃 太阳电池 薄膜材料 薄膜 热壁外延生长 薄膜制备
会议论文 氢化微晶硅薄膜制备过程中氧污染问题的初步研究
出处:中国第七届光伏会议
摘要:本文对不同的本底真空条件下,采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术沉积的氢化微晶硅薄膜(μ... 显示全部
关键词: 氢化微晶硅薄膜 化学气相沉积 光发射谱 氧污染 薄膜制备
会议论文 氢等离子体处理法晶化a-Si:H薄膜的FT-IR谱和Raman谱的研究
出处:中国第七届光伏会议
摘要:利用氢等离子体处理晶化a-Si:H薄膜,对晶化后的样品进行X射线衍谱(XRD)、傅里叶变换红外吸收谱(FT-IR)和Ram... 显示全部
关键词: 键合模式 多晶硅薄膜 氢等离子体处理法
会议论文 多晶硅薄膜的制备与表征
出处:中国第七届光伏会议
摘要:以多晶硅片为衬底,在快热化学气相沉积(RTCVD)设备上,通过外延生长的方式制得多晶硅薄膜,并利用扫描电镜(SE... 显示全部
关键词: 多晶硅薄膜 化学气相沉积 颗粒硅带 外延生长 薄膜制备 形貌结构
找到4条结果
`