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会议论文 Fe-N薄膜的时效研究
出处:第十一届全国磁学和磁性材料会议
摘要:本文利用对向靶直流磁控溅射制备Fe-N膜,并对其时间稳定性进行了跟踪实验.结果表明,制备的Fe-N膜在室温条件... 显示全部
关键词: 铁氮化合物 薄膜 时效 磁控溅射法
会议论文 高方阻AZO透明导电薄膜的制备和光电特性
出处:第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:采用磁控溅射法,在硅和玻璃基片上制备了AZO(ZNO:AL)透明导电薄膜。通过X射线衍射仪、紫外/可见光分光光度... 显示全部
关键词: 光电特性 磁控溅射法 导电薄膜 透明薄膜 微观结构
会议论文 磁控溅射制备锡纳米薄膜负极材料的循环性能研究
出处:第十四次全国电化学会议
摘要:SINCE SONY REALIZED THE COMMERCIAL APPLICATIONS OFLITHIUM ION BATTERY IN 1990,MANY MATERIALS FORLI... 显示全部
关键词: 磁控溅射法 制备工艺 锡纳米薄膜负极材料 循环性能
会议论文 宽禁带MGZZN1-ZO薄膜的制备和性能研究
出处:第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:采用磁控溅射法、通过ZNO陶瓷靶和MG金属靶在石英衬底上制备了MGXZN1-XO薄膜。研究了MG原子含量对MGXZN1-XO... 显示全部
关键词: 射线衍射 透射光谱 磁控溅射法 光学性能 薄膜结构 能隙宽度
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