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会议论文 一种新型的MEMS微泵
出处:中国电子学会电子机械工程分会2003年学术会议
摘要:利用扩散阀/喷嘴的流体特性设计了一种无活动阀压电式MEMS微泵;应用小挠度弹性弯曲理论,导出圆形压电复合层... 显示全部
关键词: 扩散阀 微泵 压电效应 流量 微机电系统 微通道
会议论文 MEMS中的封装技术研究
出处:中国微米/纳米第六届学术年会
摘要:MEMS中的封装工艺与半导体工艺中的封装具有一定的相似性,因此,早期MEMS的封装大多借用半导体中现成的工艺.... 显示全部
关键词: 微机电系统 芯片级封装 半导体工艺 封装工艺
会议论文 低成本工程化超疏液材料的制备和普适低润湿特性
出处:中国生物材料学会2013年大会
摘要:  我们基于微机电系统(MEMS)加工技术开发了基于特殊倒悬微结构的超疏液材料,具有优秀的结构及性能可控性... 显示全部
关键词: 超疏液材料 润湿 软复制 微机电系统
会议论文 微型气体动压径向短轴承-转子系统动态特性研究
出处:第8届全国转子动力学学术讨论会
摘要:受当前微加工工艺的限制,MEMS微型旋转机械中常用的气体轴承具有长径比小、气隙大等特点.针对该特点,对微型... 显示全部
关键词: 微机电系统 旋转机械 微气体轴承 转子系统 谱方法 分岔 转子动力学
会议论文 微装配系统三维坐标变换的研究
出处:中国仪器仪表学会第三届青年学术会议
摘要:提出了基于立体视觉的微装配系统中微器件三维坐标变换的方法.该方法的系统模型中综合考虑了CCD摄像系统、... 显示全部
关键词: 三坐标变换 立体视觉 微装配 微机电系统
会议论文 微机电系统及其应用
出处:2005年十三省区市机械工程学会学术年会
摘要:微机电系统(Micro Electro Mechanical Sys-terns.简称MEM,是通过微制造技术将机械单元、传感器、执行器件... 显示全部
关键词: 微机电系统 传感器 技术 微制造技术 光学器件 微能源
会议论文 微机械RF谐振器的机电仿真分析
出处:第五届全国微米/纳米技术学术会议
摘要:利用有限元仿真技术对微机械谐振器的力学特性进行了模拟.利用所得的谐振梁有效质量和有效弹簧常数,建立微... 显示全部
关键词: 微机电系统 谐振器 机电仿真 无线通信 等效电路模型 有限元法
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