中文会议：
压电与声光2001第23卷5增刊
会议日期：
2001-10-01
会议地点：
重庆
主办单位：
国家自然科学基金委员会
作 者：
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机构地区：
重庆大学
出 处：
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》
摘 要：
利用有限元仿真技术对微机械谐振器的力学特性进行了模拟.利用所得的谐振梁有效质量和有效弹簧常数,建立微机械谐振器的等效电路,并对谐振器的频率响应特性进行仿真.仿真结果与相关的测试结果符合得较好.
关 键 词：
微机电系统
谐振器
机电仿真
无线通信
等效电路模型
有限元法
分 类 号：
[TN]
领 域：
[电子电信]
