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会议论文 氧含量对RF磁控溅射ZNO薄膜结构特性的影响
出处:第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
摘要:本文采用射频(RF)磁控溅射的方法,通过改变工作气氛中氩气和氧气的比例,在SI(100)衬底上沉积出具有高度C轴... 显示全部
关键词: 薄膜 射频磁控溅射 分析 氧含量 射频
会议论文 P型ZnO薄膜的磷扩散制备与表征
出处:2006第五届中国(国际)纳米科技西安研讨会
摘要:应用射频磁控溅射的方法,将ZnO薄膜沉积于高磷掺杂的Si衬底上.在沉积和后退火过程中,磷向ZnO薄膜扩散,使ZnO... 显示全部
关键词: 硅衬底 氧化锌薄膜 射频磁控溅射 晶体结构 磷扩散法
会议论文 磁控溅射沉积PZT/Pt薄膜异质结构的研究
出处:第八届真空技术应用学术年会
摘要:在SiO2/Si衬底上采用直流磁控溅射沉积复合金属薄膜Pt/Ti作为电极,薄膜电导率高,结构致密且表面无空洞等缺... 显示全部
关键词: 直流磁控溅射 薄膜 钛复合金属薄膜 射线衍射 原子力显微镜 射频磁控溅射
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