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期刊文章 受抑全内反射的偏振分光器
出处：红外与激光工程 2005年第4期 406-409,共4页
摘要：概述了薄膜偏振分光器的研究现状及其主要特点,对不同于MacNeille设计原理的受抑全内反射偏振分光器进行了... 显示全部
关键词： 偏振分光器 受抑全内反射 消光比 带宽
期刊文章 MEMS三维静动态测试系统
出处：光电子．激光 2005年第5期 570-574,共5页
摘要：采用集成频闪成像、计算机微视觉和显微干涉技术,研制了微机电系统(MEMS)三维静动态测试系统.系统可进行MEM... 显示全部
关键词： 动态测试系统 微机电系统 三维 模板匹配算法 微压力传感器 运动测量 去包裹算法 测量分辨率 干涉技术 刚体运动 表面形貌 样条插值 面内位移 匹配精度 相移干涉 微陀螺仪 计算机 长相关 亚像素 可靠性 适用性 视觉
期刊文章 MEMS三维动态测试系统的同步控制方法
出处：仪器仪表学报 2005年第10期 1089-1092,1100,共5页
摘要：为使MEMS(micro electro mechanical system)三维静动态测试自动可靠地进行,基于测试系统的测量原理及其精... 显示全部
关键词： 同步控制 微机电系统 动态测试 频闪 相移 相对延时
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期刊文章 MEMS动态测试系统及其数据处理
出处：光学技术 2004年第4期398-402,共5页
摘要：介绍了基于频闪显微干涉技术的MEMS动态测试系统的测量原理，设计了数据分析处理算法。采用基于立方插值的... 显示全部
关键词： 微机电系统 动态测试 亚像素定位 立方样条插值 相位去包裹
期刊文章 基于亚像素综合定位匹配算法的MEMS平面运动测量
出处：纳米技术与精密工程 2005年第2期 92-96,共5页
摘要：动态测试对MEMS的设计、制造和可靠性具有非常重要的意义.提出了快速高精度的综合亚像素定位匹配算法,应用... 显示全部
关键词： 运动测量 匹配算法 亚像素 平面 综合算法 曲面拟合法 硅微陀螺仪 动态测试 像素定位 有机结合 单纯形法 检测算法 综合运用 谐振频率 面内振动 测量实验 定位速度 相关法 高精度 可靠性 协方差 标准化 相似性 质量块
期刊文章 一种用于DWDM系统的薄膜型微小偏振分束器
出处：激光技术 2006年第4期 377-380,共4页
摘要：讨论了一种用于DWDM系统中的光开关、偏振无关隔离器等单元器件中的微小薄膜型偏振分束器制造的关键技术。... 显示全部
关键词： 光学 薄膜型偏振分束器 设计与制造 密集波分复用
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期刊文章 DWDM窄带滤光片膜层的误差分析与监控策略
出处：激光技术 2006年第3期 313-316,共4页
摘要：为了提高密集波分复用（DWDM）薄膜窄带滤光片制备的成品率，讨论了用于DWDM薄膜窄带滤光片在镀制过程中的... 显示全部
关键词： 光学 窄带滤光片 误差与膜厚监控 密集波分复用
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期刊文章 集成电路互连线电迁移测试方法与评价
出处：微电子学 2004年第5期 489-492,共4页
摘要：介绍了研究集成电路互连线电迁移的两种方法:加速寿命试验和移动速度试验.对加速寿命试验进行了分析和评价.... 显示全部
关键词： 集成电路 互连线 电迁移 加速寿命试验 移动速度试验
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