作　　者： ; ; ; ; ;

机构地区： 华中科技大学机械科学与工程学院微系统研究中心

出　　处： 《光学技术》 2004年第4期398-402,共5页

摘　　要： 介绍了基于频闪显微干涉技术的MEMS动态测试系统的测量原理,设计了数据分析处理算法。采用基于立方插值的亚像素模板匹配技术实现了1/50像素的面内位移测量精度。利用分割线去包裹算法实现了从干涉图到三维形貌图的重构。 A MEMS dynamic testing system based on stroboscopic microscopic interferometry is introduced. The algorithm of data analyzing is developed. The in-plane motion is measured with accuracy of 1/50 pixel by a sub-pixel template matching algorithm based on cubic spline interpolation. The fringe patterns are transformed to a 3-dimensional surface topography by a branch cut phase-unwrapping algorithm.

关 键 词： 微机电系统 动态测试 亚像素定位 立方样条插值 相位去包裹

领　　域： [机械工程] [机械工程] [自动化与计算机技术] [自动化与计算机技术]