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期刊文章 旋转体自身驱动的硅微机械陀螺
出处:中国工程科学 2006年第8期 23-27,共5页
摘要:报道了一种利用旋转体自身角速度作为驱动力,通过各向异性刻蚀硅片制作的硅微机械陀螺。介绍了该陀螺敏感... 显示全部
关键词: 各向异性腐蚀 角速度 仿真器
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期刊文章 磁控溅射生长Cu/Si薄膜
出处:电子元件与材料 2005年第10期 1-3,共3页
摘要:用溅射方法在Si(111)上生长Cu/Si,Ti/Si,Cu/Ti/Si薄膜.用XRD,红外吸收光谱,台阶仪对薄膜进行分析和测量.结... 显示全部
关键词: 半导体技术 薄膜 薄膜 溅射
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期刊文章 旋转体自旋角速度不稳定对陀螺稳定性的影响
出处:中国惯性技术学报 2007年第5期 585-588,共4页
摘要:为了弄清旋转体自旋角速度不稳定对陀螺稳定性的影响,根据硅微机械陀螺的运动方程,分别给出对高阻尼陀螺和... 显示全部
关键词: 陀螺 微机械 角速度 稳定性
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期刊文章 气体摆式水平姿态传感器的结构及信号处理
出处:电子元件与材料 2005年第8期 1-3,共3页
摘要:研究了气体摆式水平姿态传感器的工作原理、结构、信号获取电路及补偿技术.采用铂电阻丝作为热源,在密闭腔... 显示全部
关键词: 电子技术 气体摆 水平姿态 传感器
期刊文章 气流式惯性组合陀螺的结构及信号处理技术
出处:电子元件与材料 2006年第6期 24-26,29,共4页
摘要:研究了气流式惯性组合陀螺的结构原理与信号处理技术。采用热敏电阻作为热源和敏感元件,在密闭腔中使气体... 显示全部
关键词: 电子技术 气流式 惯性组合 陀螺 传感器
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期刊文章 气体摆式倾角传感器敏感机理的有限元分析
出处:电子元件与材料 2003年第3期 1-3,共3页
摘要:解释了气体摆式倾角传感器的敏感机理.采用有限元方法,利用ANSYS-FLOTRAN CFD软件,通过建模、划分网格、加... 显示全部
关键词: 倾角传感器 有限元法 气体摆 对流场 敏感机理
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期刊文章 旋转载体用角速率传感器
出处:传感器技术 2003年第9期 47-49,55,共4页
摘要:设计制作了一种旋转载体用角速率传感器,该传感器利用旋转载体自身的旋转作为驱动从而敏感旋转载体横滚或俯... 显示全部
关键词: 旋转载体 电容 角速率传感器 俯仰角速率 动力学方程
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期刊文章 旋转载体用硅微机械陀螺的动力学分析与仿真
出处:微纳电子技术 2003年第7期 284-288,共5页
摘要:提出一种"旋转载体用硅微机械陀螺",给出了该陀螺敏感头的结构尺寸,对陀螺角振动方程中出现的转动惯量、弹... 显示全部
关键词: 旋转载体 硅微机械陀螺 动力学分析 仿真 角振动方程 转动惯量 弹性支撑梁
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期刊文章 密闭腔中自然对流气体摆特性的有限元分析
出处:电子元件与材料 2003年第12期 16-18,21,共4页
摘要:论述了采用有限元法分析密闭腔中自然对流气体的摆特性.利用ANSYS-FLOTRAN CFD软件,通过建模、划分网格、加... 显示全部
关键词: 有限元法 气体摆 自然对流 对流场 温度场 密闭腔 倾斜角度 气体摆式倾角传感器
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期刊文章 旋转载体用硅微机械陀螺的敏感元件
出处:压电与声光 2006年第2期 170-172,共3页
摘要:介绍了旋转载体用硅微机械陀螺的敏感原理,计算了硅振动单元振动摆角和敏感电容的关系。介绍了旋转载体用... 显示全部
关键词: 微机械系统 陀螺 敏感元件
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