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期刊文章 一种新型双稳态微机电系统电磁微继电器的研制
出处:上海交通大学学报 2006年第11期 1947-1950,1954,共5页
摘要:介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行... 显示全部
关键词: 微机电系统 电磁微继电器 双稳态
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期刊文章 新型复合结构电热微驱动器的研制
出处:传感器与微系统 2008年第5期 117-120,共4页
摘要:在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动... 显示全部
关键词: 聚合物 复合结构 电热微驱动器 有限元分析 非硅表面微加工
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期刊文章 一种基于MEMS的主动式光纤连接器
出处:传感器与微系统 2008年第4期 92-93,96,共3页
摘要:介绍一种基于MEMS技术的主动式光纤连接器,上层为双层结构电热驱动器,下层为硅Ⅴ型槽。双层结构在常温下... 显示全部
关键词: 光纤连接器 微机电系统 双层薄膜
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期刊文章 水平与垂直流动对微电铸镀层均匀性的影响
出处:传感器与微系统 2011年第6期 20-23,共4页
摘要:利用有限元分析软件FLUENT对微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传递成为金属沉积的控制步骤时,进行铸层... 显示全部
关键词: 微电铸 对流 扩散传质 传质阻力 流动方式
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期刊文章 碳纳米管修饰电极对焦化废水的降解性能研究
出处:环境科学与技术 2011年第4期159-162,195共5页
摘要:文章制备了多壁碳纳米管修饰电极(MWCNT-ME)并考察了其对焦化废水中难降解有机物的电催化性能。对MWCNT-M... 显示全部
关键词: 焦化废水 有机污染物 多壁碳纳米管 修饰电极
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期刊文章 应用于等离子体显示器的铝电极及其介质层制备研究
出处:真空科学与技术学报 2011年第4期419-423,共5页
摘要:提出用铝取代银作为寻址电极,氧化铝取代玻璃粉作为其上介质层的新型等离子体显示器(PDP)电极单元,对单项... 显示全部
关键词: 等离子体显示器 寻址电极 氧化铝介质层 磁控溅射 阳极氧化
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期刊文章 碳纳米管修饰电极的制备及其电化学敏感性研究
出处:传感器与微系统 2011年第5期 75-78,共4页
摘要:介绍了一种碳纳米管修饰电极的制备工艺,并对其电化学敏感性进行测试和分析。该工艺辅助聚合物聚酰亚胺,利... 显示全部
关键词: 碳纳米管 修饰电极 循环伏安法
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期刊文章 植布法制备镍基碳纳米管场发射阴极及其性能研究
出处:功能材料 2011年第11期 1972-1976,共5页
摘要:提出了一种新型的制备碳纳米管场发射阴极的方法———植布法,详细描述了植布法工艺,并用扫描电镜观察植布... 显示全部
关键词: 碳纳米管 聚酰亚胺 场发射阴极 场发射性能 植布法
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期刊文章 对流-扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响
出处:传感器与微系统 2010年第8期 41-43,47,共4页
摘要:利用有限元分析软件FLUENT对MEMS微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传输成为金属沉积的控制步骤时,进... 显示全部
关键词: 微电铸 对流 扩散传质 渗透流 回流
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期刊文章 新型微通道散热器设计仿真
出处:电子器件 2007年第1期 63-66,71,共5页
摘要:在传统的硅基微通道散热器原理基础上,通过采用高热导率的散热板,以及特殊的变截面微通道阵列,实现微型... 显示全部
关键词: 器件 微通道散热器 有限元分析 数值传热学
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