作　　者： ; ; ; ; ;

机构地区： 上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室

出　　处： 《传感器与微系统》 2008年第5期117-120,共4页

摘　　要： 在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移。采用非硅表面微加工技术,成功制备了新型复合结构电热微驱动器。 Based on the bent-beam electro-thermal actuator principle, polymer with large CTE is adopted and a novel composite structural electro-thermal actuator is prompted. Applying commercial FE software package （ANSYS）, its basic structure is systematically analysed and adequate manufacturing parameters are got. Simulation results show that this novel electro-thermal actuator has lower energy-consumption and larger displacement than the original bent-beam electro-thermal actuator. A novel composite structural electro-thermal actuator is fabricated by non-silicon surface machining.

关 键 词： 聚合物 复合结构 电热微驱动器 有限元分析 非硅表面微加工

领　　域： [电子电信]