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期刊文章 从光电子峰的背景信号获得成分深度分布信息:Tougaard背景拟合方法
出处:真空科学与技术 2002年第6期 454-458,共5页
摘要:光电子谱中的背景信号包含样品的信息,但过去往往被忽略.实际上通过分析背景信号,可以获得成分随深度分布等... 显示全部
关键词: 光电子峰 深度分布 背景拟合方法 光电子谱 背景拟合 信号分析 材料 表面分析
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期刊文章 ESCALAB MKⅡ型电子能谱仪数据系统改造
出处:真空科学与技术 1997年第2期 129-131,共3页
摘要:介绍对目前国内占主导地位的VG系列谱仪的数据收集及处理系统的改造方法。主要采用当今流行的IBM-P... 显示全部
关键词: 电子能谱仪 数据系统 仪器改造
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期刊文章 真空蒸发沉积18烷基取代螺吡喃薄膜的光致变色及光电子谱研究
出处:真空科学与技术 2002年第4期 287-289,共3页
摘要:利用真空蒸发的方法在玻璃载片上沉积了18烷基取代螺吡喃薄膜,并利用光吸收谱和光电子谱研究了薄膜的光致变... 显示全部
关键词: 真空蒸发沉积 烷基取代螺吡喃薄膜 光致变色 光电子谱 光致变色材料
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期刊文章 对向靶溅射制备NiCr—NiSi薄膜热电偶的动态特性研究
出处:真空科学与技术 1995年第5期 317-320,共4页
摘要:用对向靶溅射制备了NiCr-NiSi薄膜热电偶,实现了薄膜民分与靶材基本一致。对热电偶进行动态特性... 显示全部
关键词: 对向靶溅射 薄膜热电偶 时间常数
期刊文章 超高真空退火及X射线辐照对多孔硅发光膜的影响
出处:真空科学与技术 1995年第5期 339-342,共4页
摘要:研究X射线及超高真空退火对发光多孔硅膜发光特性的影响。通过光电子谱原位检测分析,发现X射线辐照及真... 显示全部
关键词: 发光 多孔硅 二氧化硅 超高真空退火 射线辐照
期刊文章 用新型双对靶溅射仪制备的Fe/Ti多层膜的结构特征
出处:真空科学与技术 1994年第6期 440-445,共6页
关键词: 双对靶溅射仪 溅射仪 磁性多层膜 调制结构
期刊文章 反应蒸发制备nmSi—SiOx发光薄膜
出处:真空科学与技术 1999年第5期 331-335,共5页
摘要:报道了用真空反应蒸发制备nmSi/SiOx薄膜,制备出含有不同纳米尺寸硅颗粒的薄膜,研究了不同条件... 显示全部
关键词: 反应蒸发 发光 薄膜 纳米硅 氧化硅
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期刊文章 金刚石薄膜场发射四极管的计算机模拟
出处:真空科学与技术 1998年第5期 355-358,共4页
摘要:采用广泛使用的粒子模拟程序MAGIC模拟了以金刚石薄膜作为发射体的真空微电子三级和和四极管的特性,... 显示全部
关键词: 真空微电子学 场致发射 金刚石 阴极 模拟
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期刊文章 对向靶溅射高饱和磁化强度(Fe,Ti)—N薄膜
出处:真空科学与技术 1998年第2期 146-150,共5页
摘要:本实验用对向靶溅射仪分别在Si(100),NaCl单昌衬底上成功地制备出具有高饱和磁化强度的(Fe... 显示全部
关键词: 对向靶溅射 薄膜 磁性 铁氮薄膜
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期刊文章 共面双栅极金刚石薄膜FEAs的计算机模拟
出处:真空科学与技术 2002年第5期 329-332,共4页
摘要:本文提出共面双栅极金刚石薄膜的场发射阵列阴极(FEAs),它由平行的栅极、共面反射极和长条型的金刚石薄膜场... 显示全部
关键词: 共面双栅极 真空微电子学 结构 金刚石薄膜 计算机模拟 场发射阵列阴极
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