机构地区: 浙江大学材料科学与工程学系硅材料国家重点实验室
出 处: 《真空科学与技术》 1997年第2期129-131,共3页
摘 要: 介绍对目前国内占主导地位的VG系列谱仪的数据收集及处理系统的改造方法。主要采用当今流行的IBM-PC机(8086-80586系列)与工业及实验室用PCL-812控制卡取代原谱仪所带的PDP-11/73为主的数据系统。改造后各项指标均达到原谱仪水平,数据收集及处理方面还有些改进。由于以APPLE Ⅱ系列微机为数据系统的VG谱仪的微机/谱仪接口与以PDP-11微机数据系统的基本相同,所以该方法对前者的改造同样适用。