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期刊文章 热丝CVD大面积金刚石薄膜的生长动力学研究
出处:新型炭材料 2005年第3期 229-234,共6页
摘要:在传统工业型热丝化学气相沉积(HFCVD)反应腔内,相关工艺参数取模拟计算优化值的条件下,采用XRD,SEM及Raman... 显示全部
关键词: 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 动力学生长 模拟计算
期刊文章 气相合成金刚石薄膜的成核习性研究
出处:人工晶体学报 1999年第3期 275-278,共4页
摘要:本文采用燃烧焰法观察金刚石薄膜的成核生长过程。分析了衬底表面刻划及油污处理等因素对金刚石成核的影响... 显示全部
关键词: 化学气相沉积法 燃烧焰 金刚石薄膜 成核
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期刊文章 氮化硅及Sialon陶瓷基材上金刚石膜的沉积
出处:材料科学进展 1992年第1期 56-59,共4页
关键词: 沉积 陶瓷 热丝 金刚石薄膜
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期刊文章 HFCVD金刚石薄膜温度场的数值研究
出处:金属学报 2002年第11期 1228-1232,共5页
摘要:热丝化学气相沉积(HFCVD)生长金刚石膜过程中,在热丝相关工艺参数取优化值的前提下,对热辐射平衡体系中衬底... 显示全部
关键词: 金刚石薄膜 温度场 数值研究 热传导 热丝化学气相沉积
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期刊文章 共面双栅极金刚石薄膜FEAs的计算机模拟
出处:真空科学与技术 2002年第5期 329-332,共4页
摘要:本文提出共面双栅极金刚石薄膜的场发射阵列阴极(FEAs),它由平行的栅极、共面反射极和长条型的金刚石薄膜场... 显示全部
关键词: 共面双栅极 真空微电子学 结构 金刚石薄膜 计算机模拟 场发射阵列阴极
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期刊文章 热丝CVD方法中气体状态参数的二维模拟计算
出处:材料研究学报 2003年第4期 345-352,共8页
摘要:使用在连续介质中建立的二维流场数学模型,模拟计算了在用HFCVD方法生长金刚石薄膜过程中影响气体温度分布... 显示全部
关键词: 材料科学基础学科 空间场 模拟计算 金刚石薄膜 热丝化学气相沉积
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期刊文章 金刚石薄膜用钢基表面过渡层研究进展
出处:材料导报 2006年第9期 86-88,97,共4页
摘要:介绍了影响钢基表面金刚石薄膜沉积的不利因素,分析和综述了近10年来在提高金刚石薄膜质量以及薄膜粘结性... 显示全部
关键词: 金刚石薄膜 钢基 过渡层 粘结强度
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期刊文章 稀释气体Ar对金刚石薄膜沉积质量的影响
出处:人工晶体学报 1999年第4期 364-367,共4页
摘要:本文探讨了在燃烧焰法沉积金刚石薄膜过程中,稀释气体Ar对沉积质量的影响。发现在成膜过程中适当量的A... 显示全部
关键词: 燃烧焰法 金刚石薄膜 稀释气体 薄膜沉积
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期刊文章 金刚石薄膜涂层刀具的研究进展与应用现状
出处:硬质合金 1999年第1期
摘要:CVD金刚石是采用化学气相沉积的方法制备出来的一种全晶质多晶纯金刚石材料,它可以呈膜状附着于刀(基)体... 显示全部
关键词: 金刚石薄膜 机加工刀具 粘结性能
期刊文章 陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究
出处:人工晶体学报 1994年第4期 274-278,共5页
摘要:用透射电子显微镜研究了用热丝法在Si_3N_4-SiC_w,AlN陶瓷基材上生长的金刚石薄膜的显微... 显示全部
关键词: 界面 显微结构 气相沉积 金刚石薄膜 陶瓷
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