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期刊文章 蓝宝石衬底上制备氮化硅薄膜的研究
出处:兵器材料科学与工程 2005年第5期 11-15,共5页
摘要:采用射频磁控反应溅射法在蓝宝石和硅衬底上制备出Si3N4薄膜.利用XPS和FTIR分析了所制备薄膜的成分和结构,... 显示全部
关键词: 磁控反应溅射 蓝宝石 氮化硅薄膜 沉积速率
期刊文章 SiO2薄膜对蓝宝石表面及高温强度的改善
出处:无机材料学报 2006年第1期 217-222,共6页
摘要:蓝宝石具有一系列优异的光学和力学性能,使其成为红外透过窗口与头罩中备受青睐的材料.然而随温度的升高... 显示全部
关键词: 蓝宝石 薄膜 表面形貌 高温强度
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期刊文章 提高蓝宝石高温强度和透过率的研究
出处:材料科学与工艺 2007年第1期 52-54,共3页
摘要:在蓝宝石(α-Al2O3)衬底上利用射频磁控反应溅射法制备出SiO2/Si3N4双层增透膜系,并对镀膜后的蓝宝石进行... 显示全部
关键词: 磁控溅射 薄膜 蓝宝石 高温强度 透过率
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期刊文章 SiO2薄膜对蓝宝石红外透过性能的改善
出处:无机材料学报 2007年第3期 529-533,共5页
摘要:采用射频磁控反应溅射法在蓝宝石衬底上制备了SiO2薄膜,测试了镀膜前后蓝宝石试样的红外透过率,测试并分析... 显示全部
关键词: 蓝宝石 红外透过率 薄膜 雨蚀
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期刊文章 用DSC测量复铜板玻璃化转变区的比热容
出处:广州化工 2010年第12期 204-206,共3页
摘要:在100℃-200℃的温度范围,用蓝宝石校正DSC测量比热容的系统误差,得到校正系数K(T)=-6×10^-7T2+6×10^-... 显示全部
关键词: 比热容 蓝宝石 三氧化二铝 相对误差 复铜板
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期刊文章 蓝宝石对532nm激光吸收率的实验测量
出处:激光技术 2011年第1期 54-57,共4页
摘要:为了分析激光偏振化方向和激光入射角对激光吸收率、反射率和透过率的影响,采用量热法测量了蓝宝石对532nm... 显示全部
关键词: 激光技术 激光吸收率 量热法 蓝宝石 线偏振光
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期刊文章 蓝宝石衬底的ECR等离子体清洗与氮化的RHEED研究
出处:半导体学报 2003年第6期 668-672,共5页
摘要:通过分析RHEED(反射高能电子衍射)图像研究了ECR(电子回旋共振)等离子体所产生的活性氢源和氮源对蓝宝石衬... 显示全部
关键词: 蓝宝石 清洗 氮化
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期刊文章 不同磨料对蓝宝石晶片化学机械抛光的影响研究
出处:人工晶体学报 2013年第6期1064-1069,共6页
摘要:本文制备了几种含不同磨料(SiC、Al2O3、不同粒径SiO2)的抛光液,通过纳米粒度仪分析磨料粒径分布,采用原... 显示全部
关键词: 蓝宝石 化学机械抛光 去除速率 表面粗糙度 磨料
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期刊文章 树脂结合剂金刚石砂轮磨削蓝宝石的磨损过程研究
出处:机电工程技术 2020年第1期1-4,78共5页
摘要:为了研制用于蓝宝石减薄磨削的高性能树脂结合剂金刚石砂轮,对蓝宝石磨削过程中金刚石磨粒的动态变化及蓝宝... 显示全部
关键词: 树脂结合剂 金刚石砂轮 蓝宝石 砂轮磨损 表面粗糙度
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