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期刊文章 医用TiNi合金表面等离子体沉积梯度DLC膜及抗腐蚀性能
出处:功能材料 2007年第1期 115-118,共4页
摘要:采用双放电腔MW-ECR等离子体源增强磁控溅射和沉积技术,在TiNi合金表面成功地镀制了梯度DLC膜。拉曼光谱分... 显示全部
关键词: 类金刚石膜 形状记忆合金 抗腐蚀性能
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期刊文章 TiNi合金表面沉积类金刚石薄膜的性能评价
出处:功能材料 2005年第8期 1223-1225,共3页
摘要:类金刚石膜作为新型的生物材料得到了广泛的关注.本实验制备的薄膜为典型的类金刚石膜,膜层比较致密、均匀... 显示全部
关键词: 合金 类金刚石膜 离子束 表面改性 表面性能
期刊文章 激光技术的一种特殊应用——镀类金刚石膜的探讨
出处:物理通报 2005年第10期 56-57,共2页
摘要:讨论了类金刚石膜的特性及应用,介绍了激光镀膜系统的结构原理.探讨了激光镀类金刚石膜的特点及金刚石膜生... 显示全部
关键词: 激光技术 类金刚石膜 应用 结构原理 镀膜系统 激光镀
期刊文章 偏压对电弧离子镀沉积类金刚石膜的影响
出处:金属学报 2004年第5期 537-540,共4页
摘要:采用电弧离子镀方法,在Si(100)基底上沉积了类金刚石(DLC)膜.用激光Raman谱和X射线光电子能谱(XPS)对不同偏... 显示全部
关键词: 类金刚石膜 电弧离子镀 脉冲偏压 结构 力学性能
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期刊文章 掺杂钨类金刚石膜的显微结构与性能
出处:机械工程材料 2009年第9期79-84,共6页
摘要:利用非平衡磁控溅射与离子源复合沉积技术,以高纯甲烷和氮气作反应气体,钨为溅射靶,在40Cr、Si(100)基... 显示全部
关键词: 非平衡磁控溅射 掺杂钨 类金刚石膜 摩擦因数
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期刊文章 ECR结合中频磁控溅射制备掺Cu类金刚石膜工艺及性能研究
出处:润滑与密封 2012年第4期 57-61,共5页
摘要:为改善DLC膜的内应力及导热问题,采用ECR微波等离子体化学气相沉积及中频磁控溅射的方法制备掺Cu类金刚石膜... 显示全部
关键词: 类金刚石膜 电子回旋共振 中频磁控溅射 气相沉积
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期刊文章 类金刚石多层膜在不同环境下的摩擦磨损行为研究
出处:摩擦学学报 2006年第6期 510-514,共5页
摘要:采用等离子体辅助化学气相沉积法在单晶硅表面制备由硬/软亚层交替构成的类金刚石多层膜,通过调整工艺参... 显示全部
关键词: 类金刚石膜 多层膜 摩擦磨损性能
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期刊文章 气体介质对电弧离子镀沉积类金刚石膜的影响
出处:人工晶体学报 2003年第6期 613-617,共5页
摘要:采用电弧离子镀方法,在Si(100)基底上分别在高纯Ar、高纯H2和C2H2的气氛下沉积类金刚石膜,利用激光Raman谱... 显示全部
关键词: 类金刚石膜 电弧离子镀 气体介质 微观结构 力学性能
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期刊文章 采用磁过滤阴极弧沉积技术制备含Ti类金刚石薄膜的研究
出处:核技术 2007年第12期 971-974,共4页
摘要:采用磁过滤阴极弧沉积技术以金属Ti为阴极在真空室中加入C2H2气体来制备含Ti类金刚石薄膜,研究不同的过滤... 显示全部
关键词: 磁过滤 类金刚石膜 过滤电流
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期刊文章 类金刚石薄膜的应用
出处:新材料产业 2004年第3期 39-42,共4页
摘要:类金刚石膜(Diamond-like Carbon)简称DLC,是一类性质类似于金刚石如具有高硬度、高电阻率、耐腐蚀、良好的... 显示全部
关键词: 类金刚石膜 非晶碳膜 气相沉积 工业应用 力学性能 弹性膜量
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