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期刊文章 离子轰击能量对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响: 出处：材料研究学报 2007年第6期 627-631,共5页; 摘要：使用超高真空离子束辅助沉积系统（IBAD）制备一系列具有纳米调制周期的ZrN/TiAlN多层膜,研究了离子辅助轰... 显示全部; 关键词： 无机非金属材料离子束辅助沉积纳米多层膜硬度辅助轰击能量; 在线阅读下载全文

期刊文章 离子束流和基底温度对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响: 出处：真空科学与技术学报 2008年第S1期,共4页; 摘要：本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD),在室温下制备了ZrN、TiAlN和一系列ZrN/TiAlN纳米多层膜,利用XRD... 显示全部; 关键词： 离子束辅助沉积纳米多层膜硬度离子束流基底温度; 在线阅读下载全文

期刊文章 离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用: 出处：激光与光电子学进展 2004年第10期 18-21,共4页; 摘要：从离子束清洗、离子束辅助沉积以及离子束后处理三个方面,介绍了离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用背... 显示全部; 关键词： 离子束辅助高功率激光薄膜离子束清洗离子束辅助沉积离子束后处理; 在线阅读下载全文

期刊文章 离子束辅助沉积制备氮化钽薄膜: 出处：大连理工大学学报 1995年第5期 623-627,共5页; 摘要：利用离子束辅助沉积（ＩＢＡＤ）技术制备ＴａＮ薄膜；掠入谢的Ｘ射线衍射和透射电镜观察结果显示，薄膜晶... 显示全部; 关键词： 薄膜氮化钽薄膜离子束辅助沉积制备

期刊文章 Al含量对真空电弧沉积ZrAlN薄膜性能的影响: 出处：材料保护 2007年第3期 1-3,23,共4页; 摘要：利用等离子体辅助电弧沉积技术在高速钢片和单晶硅片P（100）上沉积ZrAlN多元薄膜，利用扫描电镜、能谱分析... 显示全部; 关键词： 涂层离子束辅助沉积电弧离子镀高速钢片单晶硅片性能; 在线阅读下载全文

期刊文章 离子束辅助沉积对TiAlSiN薄膜性能的影响: 出处：钛工业进展 2006年第2期 25-28,共4页; 摘要：分别利用真空电弧沉积技术与等离子体辅助真空电弧沉积技术在不锈钢片、高速钢片和单晶硅片上沉积TiAlSiN多... 显示全部; 关键词： 离子束辅助沉积电弧离子镀; 在线阅读下载全文

期刊文章 离子束辅助对真空电弧沉积掺氮二氧化钛薄膜特性的影响(英文): 出处：中山大学学报(自然科学版) 2007年第S1期; 摘要：在氮氧混合气体中,通过离子束辅助,采用真空电弧沉积了氮掺杂的TiO2薄膜样品,研究了离子束流对掺氮二氧化钛... 显示全部; 关键词： 离子束辅助沉积二氧化钛薄膜氮掺杂光催化

期刊文章 离子束辅助对真空电弧沉积掺氮二氧化钛薄膜特性的影响: 出处：中山大学学报：自然科学版 2007年第B06期 203-205,214,共4页; 摘要：在氮氧混合气体中，通过离子束辅助，采用真空电弧沉积了氮掺杂的TiO2薄膜样品，研究了离子束流对掺氮二氧... 显示全部; 关键词： 离子束辅助沉积二氧化钛薄膜氮掺杂光催化; 在线阅读下载全文

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