作　　者： ; ; ; ; ; ;

机构地区： 中国科学院上海光学精密机械研究所

出　　处： 《激光与光电子学进展》 2004年第10期18-21,共4页

摘　　要： 从离子束清洗、离子束辅助沉积以及离子束后处理三个方面,介绍了离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用背景、应用 优势以及存在的问题。 Prom ion cleaning, ion-assisted deposition and ion post treatment, the application background, merits and the problems of ion assisted technology for high power laser films are introduced.

关 键 词： 离子束辅助 高功率激光薄膜 离子束清洗 离子束辅助沉积 离子束后处理

领　　域： [电子电信]