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期刊文章 离子束溅射法薄膜生长中结瘤微缺陷的生长机理
出处:物理学报 2005年第3期 1385-1389,共5页
摘要:用离子束溅射法制备了锆单层薄膜.用设计新型夹具和预置种子方法,对薄膜中结瘤微缺陷的生长过程进行了研究.... 显示全部
关键词: 薄膜生长 离子束溅射 微缺陷 分子动力学 生长机理 成核 分形 单层薄膜 预置 高分辨率
期刊文章 NiCo-Ag纳米颗粒膜输运性质的研究
出处:青岛大学学报:自然科学版 2004年第2期 59-62,共4页
摘要:采用离子束溅射技术制备了一系列不同含量x的(Ni0.8Co0.2)x-Ag1-x。颗粒膜样品,并对样品的各向异性磁电阻... 显示全部
关键词: 离子束溅射 颗粒膜 各向异性磁电阻 巨磁电阻效应
期刊文章 溅射过程中粒子能量对钛薄膜表面形貌影响
出处:光学学报 2004年第11期1450-1454,共5页
摘要:借助于原子力显微镜研究了离子束溅射沉积工艺中入射离子能量对制备的Ti薄膜表面形貌的影响。对薄膜表面高... 显示全部
关键词: 钛薄膜 粒子 离子能量 表面形貌 相关长度 离子束溅射 分形维数 相关函数 参量 沉积工艺
期刊文章 离子束溅射制备CuInSe2薄膜的研究
出处:真空科学与技术学报 2009年第6期 659-663,共5页
摘要:利用离子束溅射沉积技术,设计三元复合靶,直接制备CuInSe2(CIS)薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、原子力显... 显示全部
关键词: 离子束溅射 薄膜 衬底温度 退火温度
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期刊文章 离子束溅射法制备碳氮薄膜及其结构表征
出处:高分子材料科学与工程 2008年第11期172-175,共4页
摘要:采用离子束溅射沉积技术,对不同氮离子束能量情况下制备的氮化碳薄膜,进行了拉曼(Raman)和红外光谱(FT... 显示全部
关键词: 氮化碳 离子束溅射 薄膜 晶体表征
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期刊文章 Bi-Sb-Te基热电薄膜温差电池离子束溅射制备与表征
出处:物理学报 2011年第9期746-751,共6页
摘要:本文采用离子束溅射Bi/Te和Sb/Te二元复合靶,直接制备n型Bi2Te3热电薄膜和p型Sb2Te3热电薄膜.在退火时间同... 显示全部
关键词: 薄膜温差电池 薄膜 薄膜 离子束溅射
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期刊文章 Sb2Te3热电薄膜的离子束溅射制备与表征
出处:物理学报 2010年第2期1243-1247,共5页
摘要:采用离子束溅射技术交替沉积Sb-Te-Sb多层薄膜后进行高真空热处理,直接制备Sb2Te3薄膜.利用X射线衍射(XRD... 显示全部
关键词: 离子束溅射 薄膜 热电材料 热处理
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期刊文章 工艺参数对离子束溅射ZnO:Al薄膜结构与性能的影响
出处:真空科学与技术学报 2010年第5期529-534,共6页
摘要:以ZnO(掺杂2%Al2O3)陶瓷靶作为靶材,采用离子束溅射技术在BK7玻璃基底上制备AZO透明导电薄膜。研究不同... 显示全部
关键词: 薄膜 离子束溅射 微结构 光电性能
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期刊文章 离子束溅射制备CdS多晶薄膜及性能研究
出处:功能材料 2010年第A02期239-242,共4页
摘要:采用离子束溅射的方法在玻璃衬底上制备CdS多晶薄膜,研究了沉积过程中基底温度(100~400℃)与薄膜厚度(3... 显示全部
关键词: 薄膜 离子束溅射 微结构 光电性能
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期刊文章 离子束溅射Ge薄膜的生长特性研究
出处:科技视界 2012年第22期51-52,共2页
摘要:采用超高真空离子束溅射设备,在不同生长束流下,制备了一系列的Ge薄膜材料。通过对材料厚度的测量,对Ge薄膜... 显示全部
关键词: 薄膜 离子束溅射 生长束流
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