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期刊文章 氧化工艺对真空电弧沉积TiN薄膜组织与性能的影响
出处:热加工工艺 2003年第6期 11-13,共3页
摘要:研究了各种氧化工艺对真空电弧沉积TiN薄膜组织与性能的影响.结果表明,TiN薄膜在400℃于不同时间整体氧化时... 显示全部
关键词: 真空电弧沉积 薄膜 氧化工艺 组织与性能
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期刊文章 高速钢表面真空电弧沉积ZrN薄膜的组织与性能研究
出处:工具技术 2004年第10期 22-24,共3页
摘要:通过试验研究了在高速钢表面真空电弧沉积ZrN薄膜的组织与性能,分析了真空度和偏压条件对ZrN薄膜显微结构及... 显示全部
关键词: 组织与性能 高速钢 真空电弧沉积 表面 显微结构 薄膜 真空度 研究
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期刊文章 脉冲偏压对真空电弧沉积TiN薄膜组织与性能的影响
出处:材料热处理学报 2001年第3期 62-66,共5页
摘要:研究了脉冲偏压对真空电弧沉积TiN薄膜组织与性能的影响.结果表明脉冲偏压幅值在500-1700V,脉宽比在1/25~2... 显示全部
关键词: 脉冲偏压 真空电弧沉积 薄膜 组织性能
期刊文章 氧化工艺在真空电弧沉积TiN薄膜中的应用——专业课程与课题相结合的实践
出处:广东工业大学学报:社会科学版 2003年第B06期 188-189,224,共3页
摘要:文章通过氧化工艺对真空电弧沉积TiN薄膜组织与性能的影响这一课题研究,指出在毕业论文的工作中,将专业知... 显示全部
关键词: 专业课程 研究课题 真空电弧沉积 薄膜 氧化工艺
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期刊文章 真空电弧沉积多元膜复合靶成分离析效应的研究
出处:真空科学与技术 2000年第5期 373-376,共4页
摘要:用Ti/Mo,Ti/W和Ti/Me(Me为Fe-Cr-Al合金)复合靶采用真空电弧技术沉积了多元膜... 显示全部
关键词: 真空电弧沉积 多元膜 成分离析效应 复合靶
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