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期刊文章 透明导电薄膜在不同衬底上的性能对比研究
出处:材料保护 2005年第7期 5-7,共3页
摘要:为了对比研究不同透明衬底上ZnO:Al(ZAO)薄膜的性能,采用直流反应溅射法制备薄膜,并对其作EDS、XRD和电学测... 显示全部
关键词: 薄膜 衬底 直流磁控溅射 性能 衍射分析 电阻率 透射率
期刊文章 射频/直流磁控溅射不锈钢/Al2O3复合薄膜组织与性能研究
出处:新技术新工艺 2001年第2期 40-42,共3页
摘要:利用射频/直流磁控溅射法,制备了316L不锈钢/Al2O3陶瓷复合薄膜,研究了316L不锈钢/Al2O3陶瓷复合膜的组织... 显示全部
关键词: 射频 直流磁控溅射 不锈钢 薄膜 组织 性能
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期刊文章 柔性衬底PET上低温沉积ZnxCd(1-x)O透明导电薄膜
出处:无机材料学报 2008年第2期 361-363,共3页
摘要:利用直流反应磁控溅射在柔性衬底(聚乙烯对苯二酸脂,PET)上低温沉积了对可见光透明的低电阻率的ZnxCd(1-... 显示全部
关键词: 直流磁控溅射 柔性衬底 薄膜 透明导电膜
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