作　　者： ; ; ; ; ; ; (胡显奇）; (盛钢）; (盛忠）;

机构地区： 广东工业大学

出　　处： 《新技术新工艺》 2001年第2期40-42,共3页

摘　　要： 利用射频 /直流磁控溅射法 ,制备了 31 6L不锈钢 /Al2 O3 陶瓷复合薄膜 ,研究了 31 6L不锈钢 /Al2 O3 陶瓷复合膜的组织形貌 ,测试了薄膜的显微硬度和耐磨性。结果表明 :直流磁控溅射 31 6L不锈钢薄膜呈柱状晶结构 ,主要有 Fe- Cr和γ- Fe相构成 ,在 Fe- Cr( 1 1 0 )晶面出现明显的择优取向 ;由于射频溅射 Al2 O3 陶瓷的掺合 ,使 31 6L不锈钢 /Al2 O3 陶瓷复合薄膜柱状晶细化 ,并出现二次柱状晶 ,在 Fe- Cr( 2 1 1 )晶面出现明显的择优取向 ,31 6L不锈钢膜硬度明显高于 31 6L块体 ,掺合了 Al2 O3 的金属 /陶瓷复合薄膜耐磨性有显著的提高。 In this paper,the 316L stainless steel /Al 2O 3 ceramic composite film was prepared by RF/DC sputtering,Microstructure and properties of 316L stainless steel/Al 2O 3 ceramic composite film were investigated.The results showed that the cture column crystal microstru of the 316L stainless steel prepared by magnetron sputtering was formed with Fe Cr phase and γ Fe phase,and(110) orientation of Fe Cr phase had priority.The phase orientation of 316L stainless steal film with trace of Al 2O 3 ceramic addition turned to (211) orientation,while wear resistance improved greatly,but the hardness slightly.

关 键 词： 射频 直流磁控溅射 不锈钢 薄膜 组织 性能

领　　域： [一般工业技术]