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期刊文章 多弧离子镀(Ti,W)xN合涂层组织与性能
出处:材料工程 2000年第9期 33-35,41,共4页
摘要:采用Ti/W复合靶用多弧离子镀技术沉积了(Ti,W)xN合金涂层,并对该涂层的组织与性能进行了研究。结果表明,... 显示全部
关键词: 多弧离子镀 涂层 组织性能 成分离析 气相沉积 合金涂层 超硬涂层
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期刊文章 衬底温度对直接光CVD SiO2薄膜特性的影响
出处:半导体学报 2002年第8期 825-829,共5页
摘要:采用以低压氙(Xe)气激发真空紫外光作光源,以SiH4和O2作反应气体的直接光CVD技术淀积SiO2薄膜。通过椭圆... 显示全部
关键词: 衬底温度 薄膜特性 氧化硅 气相沉积
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期刊文章 直流负偏压对类金刚石薄膜结构的影响
出处:化学研究 2005年第1期 35-38,共4页
摘要:在不同的直流负偏压下利用直流射频等离子体辅助化学气相沉积技术在单晶硅表面沉积得到了类金刚石薄膜,用拉... 显示全部
关键词: 直流负偏压 类金刚石薄膜 等离子体 气相沉积 非晶碳膜 折射率 激光拉曼光谱
期刊文章 模具制造的表面工程技术
出处:娄底职业技术学院学报:职教与经济研究 2003年第2期 43-44,共2页
摘要:针对模具制造和使用过程中的表面质量改性技术原理及应用特点进行了分析与研究,采用新的改性工艺。有利于... 显示全部
关键词: 表面质量改性 模具 热扩渗技术 气相沉积 激光强化 表面工程技术
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期刊文章 功能梯度材料涂层制备技术的研究进展
出处:表面技术 2004年第4期 7-9,共3页
摘要:综述了功能梯度材料涂层的主要制备技术和性能研究的现状,分析了功能梯度材料涂层目前的应用范围,并对其未... 显示全部
关键词: 功能梯度材料 涂层 电沉积 热喷涂 等离子喷涂 气相沉积
期刊文章 ECR结合中频磁控溅射制备掺Cu类金刚石膜工艺及性能研究
出处:润滑与密封 2012年第4期 57-61,共5页
摘要:为改善DLC膜的内应力及导热问题,采用ECR微波等离子体化学气相沉积及中频磁控溅射的方法制备掺Cu类金刚石膜... 显示全部
关键词: 类金刚石膜 电子回旋共振 中频磁控溅射 气相沉积
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期刊文章 辣根过氧化物酶在巯基丁二酸铜(Ⅱ)自组装单分子层修饰电极表面的固定及对H2O2传感研究
出处:传感技术学报 2007年第2期 262-266,共5页
摘要:利用气相沉积技术制备TiO2凝胶膜,将辣根过氧化酶固定在巯基丁二酸铜(Ⅱ)(CuL-SH)自组装单分子层修饰... 显示全部
关键词: 过氧化氢生物传感器 气相沉积 二氧化钛溶胶 凝胶 巯基丁二酸铜 辣根过氧化物酶 自组装单分子层 电催化
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期刊文章 陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究
出处:人工晶体学报 1994年第4期 274-278,共5页
摘要:用透射电子显微镜研究了用热丝法在Si_3N_4-SiC_w,AlN陶瓷基材上生长的金刚石薄膜的显微... 显示全部
关键词: 界面 显微结构 气相沉积 金刚石薄膜 陶瓷
期刊文章 [Co(Ⅱ)(H2O)6](C4H4O4)·2C6H12N4·4H2O修饰电极电化学催化谷胱苷肽研究
出处:化学世界 2006年第9期 513-516,共4页
摘要:利用气相沉积法研制了基于TiO2凝胶固定化[Co(H2O)6](C4H4O4)·2C6H12N4·4H2O(CoL)修饰电极。研究了... 显示全部
关键词: 配合物修饰电极 谷胱苷肽 还原型 伏安法 气相沉积 凝胶
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期刊文章 模具制造的表面工程技术
出处:金属成形工艺 2003年第4期 68-69,共2页
摘要:针对模具制造和使用过程中的表面质量改性技术原理及应用特点进行了分析与研究,采用新的改性工艺,有利于提... 显示全部
关键词: 表面工程 模具制造 表面质量 表面改性 热扩渗 气相沉积 激光强化
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