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期刊文章 阴极真空电弧沉积MgO薄膜的椭偏光谱研究
出处:中山大学学报:自然科学版 2007年第1期 26-30,共5页
摘要:采用阴极真空电弧离子沉积技术在硅基片上制备出了MgO薄膜。利用椭圆偏振光谱、原子力显微镜及扫描电子显微... 显示全部
关键词: 阴极真空电弧离子沉积 薄膜 椭圆偏振光谱 表面粗糙度
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期刊文章 椭圆偏振光谱数据处理的分段多项式法
出处:中山大学学报:自然科学版 1998年第6期 35-39,共5页
摘要:采用分段多项式拟合的方法处理椭圆偏振光谱测试数据,可以同时得到样品的厚度和光学常数谱。2个计算实例... 显示全部
关键词: 椭圆偏振光谱 数据处理 分段多项法 铁电薄膜
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期刊文章 SiGe材料的组分表征研究与退火分析
出处:微电子学 2008年第5期 660-662,683,共4页
摘要:采用固相扩散法在n-Si(100)衬底上制备了两组退火条件不同的SixGe1-x薄膜。利用椭圆偏振光谱和二次离子质... 显示全部
关键词: 薄膜 椭圆偏振光谱 二次离子质谱 退火 组分分布
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期刊文章 芳香族共聚酯液晶的椭圆偏振光谱与光学性质的研究
出处:光谱学与光谱分析 1998年第4期 399-403,共5页
摘要:应用自动化椭圆偏振光谱和紫外-可见光谱表征了两种芳香族共聚酯液晶的光学性质,发现由于分子结构和受激... 显示全部
关键词: 液晶高分子 椭圆偏振光谱 芳香族共聚酯
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期刊文章 AlGaN外延薄膜材料的椭圆偏振光谱研究
出处:功能材料 2010年第10期1691-1693,共3页
摘要:对蓝宝石衬底上生长的一系列AlxGa1-xN薄膜进行了椭圆偏振光谱研究,得到了薄膜的厚度以及245~1000nm的光学... 显示全部
关键词: 薄膜 椭圆偏振光谱 光学常数 组分
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期刊文章 非晶态高聚物的椭圆偏振光谱和光学折射率的测定
出处:光谱实验室 1999年第1期 24-26,共3页
摘要:应用紫外-可见光区的椭圆偏振光谱(SE)方法测定了非晶态高聚物PMMA和PC的固体光学性质,并由无... 显示全部
关键词: 椭圆偏振光谱 非晶态高聚物 折射率谱 高聚物
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期刊文章 唯一性检测在椭圆偏振光谱薄膜拟合中的应用
出处:红外与毫米波学报 2015年第6期663-667,共5页
摘要:利用椭圆偏振光谱进行薄膜样品的测量数据分析拟合时,薄膜厚度与介电常数通常具有一定的关联性.不同色散模... 显示全部
关键词: 椭圆偏振光谱 唯一性检测 薄膜 二氧化钛
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期刊文章 SiGe薄膜材料的椭圆偏振光谱研究
出处:压电与声光 2007年第6期 632-633,637,共3页
摘要:采用椭圆偏振光谱(SE)对一系列SiGe样品进行了研究。确定了SixGe1-x层的厚度和组分;对不均匀的SixGe1-x... 显示全部
关键词: 椭圆偏振光谱 组分 厚度
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