作　　者： ; ;

机构地区： 中山大学物理科学与工程技术学院物理系

出　　处： 《中山大学学报（自然科学版）》 1998年第6期35-39,共5页

摘　　要： 采用分段多项式拟合的方法处理椭圆偏振光谱测试数据，可以同时得到样品的厚度和光学常数谱．２个计算实例，①为ＳｉＯ２薄膜，②为新型的掺镧的锆钛酸铅（ＰＬＺＴ）非晶类铁电薄膜．该方法精度高，具有较好的通用性． The sample thickness and its optical contant spectra can be obtained simultaneously by fitting the measured spectroscopic ellipsometry data with piecewise polynomials.Two illustrative examples(SiO 2 film,lead lanthanum zirconate titanate(PLZT) amorphous ferroelectric like thin film) are presented to demonstrate that this technique is very precise and can be used generally.

关 键 词： 椭圆偏振光谱 数据处理 分段多项法 铁电薄膜

领　　域： [机械工程] [理学] [理学] [机械工程] [理学] [理学]