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期刊文章 PDMS微流体系统的加工制作
出处:高分子通报 2005年第1期 108-111,共4页
摘要:目前,微流体装置越来越多地应用到分析系统、生物医学、化学等基础研究领域.传统的微流体系统制作方法是对... 显示全部
关键词: 微流体系统 生物材料 生物医学 基础研究 制作方法 分离 快速 微电子 键合 硅片
期刊文章 《晶体管原理》教学的一些思考
出处:中山大学学报论丛 2004年第3期 17-18,共2页
摘要:针对<晶体管原理>课程的教学存在的问题,根据微电子专业课程的特点与借助教学过程现代先进教育技术结合,充... 显示全部
关键词: 集成电路技术 晶体管 微电子
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期刊文章 《集成电路测试与可测性设计》的教学探索
出处:中山大学学报论丛 2005年第3期 15-16,共2页
摘要:跟随当前集成电路技术的发展,在微电子专业开设课程<集成电路测试与可测性设计>,完善了学生的专业知识结构. 显示全部
关键词: 集成电路测试可测性设计 微电子 教学研究
期刊文章 位相型单缝衍射因子的实验研究
出处:应用激光 2000年第2期 79-80,66,共3页
摘要:对二元光学元件单元结构的衍射因子进行了实验研究。用微电子技术制作了位相台阶数分别为 2、3、4、8等几种... 显示全部
关键词: 二元光学元件 单元结构 衍射因子 微电子
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期刊文章 MEMS技术及应用
出处:青岛建筑工程学院学报 2003年第3期 73-78,共6页
摘要:综述了制备MEMS的几个重要步骤,即设计、材料选择、加工、封装以及测试,总结了MEMS研究及应用的最新进展. 显示全部
关键词: 设计 加工 封装 测试 微电子 机械系统 传感器
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期刊文章 MEMS中的封装技术研究
出处:微纳电子技术 2003年第7期 235-237,共3页
摘要:MEMS中的封装工艺与半导体工艺中的封装具有一定的相似性,因此,早期MEMS的封装大多借用半导体中现成的工艺.... 显示全部
关键词: 封装技术 芯片级封装 半导体工艺 微电子
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期刊文章 微阵列电极电化学生物传感器
出处:传感器技术 2004年第2期 1-3,7,共4页
摘要:以微阵列电极为基础的电化学生物传感器近几年来发展迅速,是实现生物传感器微型化和集成化的一个重要途径.... 显示全部
关键词: 微阵列电极 电化学生物传感器 信号转换器 微电子 金电极
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