作　　者： ; ;

机构地区： 青岛建筑工程学院

出　　处： 《青岛建筑工程学院学报》 2003年第3期73-78,共6页

摘　　要： 综述了制备 MEMS的几个重要步骤 ,即设计、材料选择、加工、封装以及测试 ,总结了MEMS研究及应用的最新进展 . This paper summarizes several important steps of fabricating MEMS which include designing, material selection, fabrication, packaging and testing and introduces the latest developments of the researches and the applications of MEMS.

关 键 词： 设计 加工 封装 测试 微电子 机械系统 传感器

领　　域： [自动化与计算机技术] [自动化与计算机技术]