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会议论文 面向高性能电子产品的微、纳米制造技术
出处:第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议
摘要:高性能电子产品制造的发展方向是:高精度(控制精度趋于纳米级、加工精度趋于亚纳米级)、超微细(芯片线宽向... 显示全部
关键词: 电子产品 微纳米制造 制造装备 控制精度 运动控制
会议论文 考虑抛光垫特性的CMP流动性能
出处:2003年中国机械工程学会年会
摘要:通过假定孔质层流体服从Darcy规律,提出了用于化学机械抛光的三维流体模型.给出了流动方程并利用数值模拟方... 显示全部
关键词: 化学机械抛光 多孔层 流动性能
会议论文 薄膜润滑研究
出处:中国科学院《技术科学论坛》学术报告会
摘要:本文是近年来作者关于纳米级薄膜润滑的研究的全面总结.首先介绍了纳米级润滑膜厚度测量技术,进而就润滑理... 显示全部
关键词: 纳米摩擦学 薄膜润滑 边界润滑
会议论文 辅助电极对电控摩擦的影响研究
出处:第七届全国摩擦学大会
摘要:在自制的摩擦磨损试验台上考察了辅助电极对电控摩擦的影响.结果发现辅助电极的材料对电控摩擦没有本质的影... 显示全部
关键词: 电控摩擦 二氧化硅 辅助电机 摩擦磨损
会议论文 两个Si、O混合系统势函数的分子动力学模拟现象
出处:2004年中国机械工程学会学术年会
摘要:在制作硅片的化学机械抛光中,纳米二氧化硅颗粒与加工硅片的相互作用决定了材料的去除方式.Umeno势和Watana... 显示全部
关键词: 势函数 分子动力学 二氧化硅颗粒 硅片 抛光
会议论文 考虑边界滑移的润滑方程(Ⅰ)——理论推导
出处:第七届全国摩擦学大会
摘要:当存在极限剪切应力时,在线接触弹性流体动力润滑中可能出现3种滑移情况,即在两固体表面上均不产生滑移,只... 显示全部
关键词: 粘塑性 极限剪切应力 界面滑移 润滑方程 滑移速度
会议论文 考虑边界滑移的润滑方程(Ⅱ)—计算结果
出处:第七届全国摩擦学大会
摘要:利用直接引入滑移速度的润滑方程模拟计算允许边界滑移产生的理想粘塑性模型润滑问题.给出了计算的压力分布... 显示全部
关键词: 粘塑性 界面滑移 滑滚比 润滑方程 滑移速度
会议论文 温度对基于沸石和硅油的电流变液性能的影响
出处:第七届全国摩擦学大会
摘要:对基于沸石和硅油的电流变液的温度特性进行了研究.结果表明:随着温度从10℃升高到90℃,电流变液的剪切屈服... 显示全部
关键词: 电流变液 剪切屈服应力 电流密度 温度效应 沸石 硅油
会议论文 电流变液的小应变拉伸弹性模量
出处:第八届全国摩擦学大会
摘要:本文对电流变液在直流高压电场作用下,小应变范围内的拉伸应力应变过程进行了测试和分析。在稳态直流高压电... 显示全部
关键词: 电流变液 拉伸应力 拉伸应变 电场强度 拉伸弹性模量 传感器
会议论文 电磁流变与摩擦控制
出处:2008全国青年摩擦学与表面保护学术会议
摘要:本文对电磁流变技术与摩擦主动控制技术的关系进行了论述。介绍了电磁流变机理、材料及力学性能研究进展,... 显示全部
关键词: 电磁流变 摩擦控制 力学性能 摩擦机理
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