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会议论文 分级退火在PZT铁电薄膜中的运用
出处:第五届全国夜视技术交流会暨2005年全国瞬态光学与光电子技术交流会
摘要:采用溶胶-凝胶和射频磁控溅射相结合的方法制备了PZT铁电薄膜.用溶胶-凝胶法制备一层PZT薄膜作为籽晶层.在... 显示全部
关键词: 铁电薄膜 溶胶 凝胶法 射频磁控溅射法 籽晶层 分级退火 热释电性能 红外探测器
会议论文 快速退火对PZT铁电薄膜结构和性能的影响
出处:第五届全国夜视技术交流会暨2005年全国瞬态光学与光电子技术交流会
摘要:采用射频磁控溅射方法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备出厚450nm的PZT铁电薄膜.在550℃、600℃、650℃... 显示全部
关键词: 锆钛酸铅 铁电薄膜 快速退火 射线衍射 原子力显微镜 热释电性能
会议论文 硅衬底上的铁电薄膜生长技术的研究进展
出处:第五届全国夜视技术交流会暨2005年全国瞬态光学与光电子技术交流会
摘要:铁电薄膜具有良好的热释电性、压电性、电光及非线性光学特性,在微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械... 显示全部
关键词: 硅衬底 铁电薄膜 制备技术 非线性光学
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