中文会议： 第五届全国夜视技术交流会暨2005年全国瞬态光学与光子技术交流会会议论文集

会议日期： 2005-10-01

会议地点： 云南西双版纳

主办单位： 中国兵工学会

作　　者： ; ; ; ; ; ;

机构地区： 昆明物理研究所

出　　处： 《第五届全国夜视技术交流会暨2005年全国瞬态光学与光电子技术交流会》

摘　　要： 铁电薄膜具有良好的热释电性、压电性、电光及非线性光学特性,在微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械系统等领域有着广泛的应用前景,是目前国际上新型功能材料研究的热点之一.本文综述了近年来铁电薄膜及其制备技术研究进展,对比了铁电薄膜的主要制备技术的优缺点,指出了目前亟待解决的一些问题。

关 键 词： 硅衬底 铁电薄膜 制备技术 非线性光学

分 类 号： [TM]

领　　域： [电气工程]