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会议论文 脉冲偏压电弧离子镀的发展现状及前瞻
出处:2005’全国真空冶金与表面工程学术会议
摘要:本文致力于集中探讨脉冲偏压电弧离子镀技术各种表观行为下的深层本质和作用机制,并在此基础上论述其发展... 显示全部
关键词: 电弧离子镀 脉冲偏压 气相沉积镀膜
会议论文 脉冲偏压电弧离子镀基础问题及应用研究
出处:TFC'07全国薄膜技术学术研讨会
摘要:本文对脉冲偏压电弧离子镀基础问题进行了研究。结果表明,把脉冲偏压引入电弧离子镀工艺保持了其原有的高... 显示全部
关键词: 离子镀层 离子沉积 脉冲偏压 离子镀工艺
找到2条结果
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