聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
会议论文 磁控溅射法制备类金刚石薄膜的摩擦学特性
出处:第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
摘要:采用磁控溅射技术在单晶硅表面制备了Ti、C和Ti、Cr、C两种类金刚石薄膜,用原子力显微镜(AFM)和俄歇能谱仪(... 显示全部
关键词: 磁控溅射 类金刚石薄膜 摩擦学性能
会议论文 高结合强度类金刚石膜的制备与性能研究
出处:2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议
摘要:磁过滤阴极弧沉积技术可以在室温下制备高质量类金刚石薄膜,薄膜的sp3键含量高达85%,具有优异的性能如极... 显示全部
关键词: 类金刚石薄膜 高结合强度 磁过滤阴极弧沉积 离子注入
找到2条结果
`