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会议论文 用磁过滤MEVVA源注入和离子沉积技术合成优化表面层研究
出处:'2000国际表面工程与防腐蚀技术研讨会
摘要:采用金属离子束磁过滤技术对引出金属离子束中大颗粒离子进行过滤后,再在金属表面、硅和聚合物表面进行离... 显示全部
关键词: 防腐方法 离子注入 表面改性 磁过滤 离子沉积
会议论文 采用磁过滤阴极弧沉积技术制备含Ti类金刚石薄膜的研究
出处:2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议
摘要:采用磁过滤阴极弧沉积技术以金属Ti为阴极在真空室中加入C2H2气体来制备含Ti类金刚石薄膜,研究不同的过滤弯... 显示全部
关键词: 磁过滤 类金刚石膜 阴极弧沉积
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