中文会议： 2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集

会议日期： 2006-10-14

会议地点： 武汉

主办单位： 中国物理学会

作　　者： ; ; ; ; ; ;

机构地区： 北京市辐射中心

出　　处： 《2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议》

摘　　要： 采用磁过滤阴极弧沉积技术以金属Ti为阴极在真空室中加入C2H2气体来制备含Ti类金刚石薄膜,研究不同的过滤弯管磁场和在有过滤磁场存在条件下不同的C2H2气压对含Ti类金刚石薄膜的成分和组织结构的影响规律.实验结果表明:薄膜是由TiC和类金刚石两种结构组成的复合薄膜.C2H2气压和过滤弯管电流都对含Ti类金刚石薄膜的成分和组织结构有显著的影响.增加C2H2气压和过滤弯管电流都使薄膜中Ti元素的原子百分含量逐渐下降,C元素的原子百分含量逐渐增加,TiC峰强度逐渐降低,半高宽逐渐增加.

关 键 词： 磁过滤 类金刚石膜 阴极弧沉积

领　　域： [一般工业技术]