聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
会议论文 P型ZnO薄膜的磷扩散制备与表征
出处:2006第五届中国(国际)纳米科技西安研讨会
摘要:应用射频磁控溅射的方法,将ZnO薄膜沉积于高磷掺杂的Si衬底上.在沉积和后退火过程中,磷向ZnO薄膜扩散,使ZnO... 显示全部
关键词: 硅衬底 氧化锌薄膜 射频磁控溅射 晶体结构 磷扩散法
会议论文 硅衬底上的铁电薄膜生长技术的研究进展
出处:第五届全国夜视技术交流会暨2005年全国瞬态光学与光电子技术交流会
摘要:铁电薄膜具有良好的热释电性、压电性、电光及非线性光学特性,在微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械... 显示全部
关键词: 硅衬底 铁电薄膜 制备技术 非线性光学
找到2条结果
`