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会议论文 Mevva源离子注入机大批量注入均匀性研究
出处:第二届表面工程技术产业化学术交流会
摘要:Mevva离子源具有束流强、离子种类多、引出电压高以及多孔大面积引出的特点,Mevva强流金属离子注入被誉为新... 显示全部
关键词: 离子注入 离子源 离子注入机 注入均匀性
会议论文 100型MEVVA源注入机注入均匀性研究
出处:2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议
摘要:提高金属蒸汽真空弧(Metal vapor vacuum arc,MEVVA)离子源注入机的注入效率,大幅度降低注入成本是MEVVA源... 显示全部
关键词: 离子源注入机 金属蒸汽真空弧 离子注入 注入均匀性 定位自转
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